一、清洗

1 清洗玻璃片

① IPA+DI / 20min each / total 3
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 30min
④ plasma 5min ,增加疏水性(玻璃片不需要)
⑤ U/V Ozone 30min
⑥ clean the sample box using gun drying
⑦ put in glove box

2 清洗MASK

① IPA+DI / 20min each / total 1
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 5-15min
④ cleaning the mask box

3 清洗器械

① IPA+DI / 20min each / total 3
② AIR gun drying
③ Heating table (100℃) 30min
⑦ Live with tin foil

二、配溶液

1 P型材料

- OSC

溶质	溶剂	退火温度℃	退火时间
DPPT-TT	DCB	80	one night
DPP-DTT	CB	白天130°，晚上80°	one night
PS	NBA

实验结果：

溶质	溶剂	浓度	浓度
DPP-DTT	CB	2mg/ml 放置冷却两小时不会成胶状	5mg/ml放置冷却三分钟成胶状

- Dielectric

溶质	溶剂	退火温度	退火时间
PMMA	NBA	80	one night

2 N型材料

- OSC

溶质	溶剂	退火温度	退火时间
N2200	DCB	80

三、旋涂

流程

① 锡纸放入台子中
② 设置好旋涂步骤
③ 设置好加热台，以及计时器
④ 打开抽气泵电源开关，打开抽气阀门
⑤ 将片子放到台子里，打开抽气开关，将其吸住（test）
⑥ 将配好的溶液，用移液抢滴在片子上
⑦ 开始旋涂
⑧ 结束后放到加热台退火

Detil

溶质	旋涂阶段一（转速/时间/加速度）	旋涂阶段二	退火阶段1	退火阶段2
DPPT-TT	500rpm/5s/200	2000rpm/60s/500a	80°/5min	150°/1h
PMMA	500rpm/3s	2000/60s	80°/one night	无

四、蒸镀

1 蒸镀仪操作流程

准备阶段

打开冷凝水箱

打开面板系统
总控制电源全开

DGN-DC电源开关打开，启动

右侧面板屏幕打开

离子泵面板打开

复合真空计面板打开

打开放气阀，等到气压达到4.0E4时，关闭放气阀，打开舱门

用乙醇擦干净真空胶（此步骤在一定周期后需要操作）

换舟，放材料

放将样品板放入

关舱门（确保所有挡板关闭），抽真空
依次打开旁抽阀、机械泵，等到真空度达到5E0时，关闭旁抽阀

依次打开挡板阀、分子泵、闸板阀

等待分子泵转速达到27000，然后等待真空度达到5E-4时（1.5h），进入下一阶段

蒸样品阶段

找到膜厚面板对应的材料，清零

打开舟工作，舟挡板，调节功率，加热样品，加大电流（注意面板速率）
舟亮

样品融化

样品彻底融化，打开膜厚面板的运行

样品全部融化，达到适当速率时（清零膜厚），打开样品挡板、样品转动

蒸镀完成后
关闭样品挡板、样品转动、舟挡板

调节功率下降，直至为零，再关闭舟工作

如果要蒸镀第二种材料，重复上述操作

结束蒸发，收尾阶段

关闭真空环境

关闭闸板阀、分子泵

冷却20-30min

关闭挡板阀、机械泵

膜厚面板可关闭

开门取样步骤

开放气阀

开门取样品、关放气阀、关门

开机械泵、旁抽阀，待真空后，关闭旁抽阀和机械泵

依次关闭分子泵面板、真空计面板、三个绿色按钮关闭，以及总闸门往下推至关闭,最后关闭冷凝水装置（注意开关可能会漏电，务必小心）

２蒸镀经验

材料	舟亮温度 (℃ )	晶振速率（Å=0.1nm=10^-10m)	注意事项
AL			100nm,7粒
AU
NI	100-150	开始时,0.02,可以慢一点	5nm/3粒/作为SD粘合剂
CU	80-120	0.1-0.2	50nm/7粒

五、溅射

流程

点击取样按钮，等舱门打开后，换靶材及放置好片子

关闭舱门，点击真空按钮，待真空度达到4E-4时，开始溅射

起辉阶段

打开充气阀，待真空度稳定后，打开阀门

气氛运行

调节功率

转速

打开靶材，起辉三分钟

然后点击溅射按钮，开始溅射 17min

完成之后冷却

六、实验计划书

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目录

一、清洗

1 清洗玻璃片

2 清洗MASK

3 清洗器械

二、配溶液

1 P型材料

- OSC

- Dielectric

2 N型材料

- OSC

三、旋涂

流程

Detil

四、蒸镀

1 蒸镀仪操作流程

２蒸镀经验

五、溅射

流程

六、实验计划书

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