以下主要以,MEMS惯性器件的误差分析为例:

1.确定性误差

主要考虑标度因数误差、零偏和轴失准误差。
1.1加速度计
加速度计误差模型
[ f x o f y o f z o ] = [ s a x k x y k x z ∇ x k y x s a y k y z ∇ y k z x k z y s a z ∇ z ] [ f x i f y i f z i 1 ] \begin{bmatrix}f_{xo}\\ f_{yo}\\ f_{zo} \end{bmatrix}= \begin{bmatrix}s_{ax} & k_{xy} & k_{xz} & \nabla_x\\ k_{yx} & s_{ay} & k_{yz} &\nabla_y\\ k_{zx} & k_{zy} & s_{az} & \nabla_z \end{bmatrix} \begin{bmatrix}f_{xi}\\ f_{yi}\\ f_{zi}\\1 \end{bmatrix} ⎣⎡​fxo​fyo​fzo​​⎦⎤​=⎣⎡​sax​kyx​kzx​​kxy​say​kzy​​kxz​kyz​saz​​∇x​∇y​∇z​​⎦⎤​⎣⎢⎢⎡​fxi​fyi​fzi​1​⎦⎥⎥⎤​
6位置静态标定法
各轴输入加速度向量:
I = [ + g − g 0 0 0 0 0 0 + g − g 0 0 0 0 0 0 + g − g 1 1 1 1 1 1 ] I=\begin{bmatrix} +g & -g & 0 & 0 & 0 & 0 \\ 0 & 0 & +g & -g & 0& 0\\ 0 & 0 & 0 & 0 & +g & -g\\ 1 & 1 & 1 & 1 & 1 & 1 \end{bmatrix} I=⎣⎢⎢⎡​+g001​−g001​0+g01​0−g01​00+g1​00−g1​⎦⎥⎥⎤​
加速度计实际输出值:
O = [ f x 1 f x 2 f x 3 f x 4 f x 5 f x 6 f y 1 f y 2 f y 3 f y 4 f y 5 f y 6 f z 1 f z 2 f z 3 f z 4 f z 5 f z 6 ] O=\begin{bmatrix} f_{x1} & f_{x2} & f_{x3} & f_{x4} & f_{x5} & f_{x6} \\ f_{y1} & f_{y2} & f_{y3} & f_{y4} & f_{y5} & f_{y6} \\ f_{z1} & f_{z2} & f_{z3} & f_{z4} & f_{z5} & f_{z6} \\ \end{bmatrix} O=⎣⎡​fx1​fy1​fz1​​fx2​fy2​fz2​​fx3​fy3​fz3​​fx4​fy4​fz4​​fx5​fy5​fz5​​fx6​fy6​fz6​​⎦⎤​
有 O = G I O=GI O=GI
根据最小二乘公式:
G = O I T ( I I T ) − 1 G=OI^T(II^T)^{-1} G=OIT(IIT)−1
(每个位置可以提供3个约束(方程),共12个未知数)。

1.2陀螺仪
陀螺仪误差模型
[ ω x o ω y o ω z o ] = [ s g x k x y k x z ε x k y x s g y k y z ε y k z x k z y s g z ε z ] [ ω x i ω y i ω z i 1 ] \begin{bmatrix}\omega_{xo}\\ \omega_{yo}\\ \omega_{zo} \end{bmatrix}= \begin{bmatrix}s_{gx} & k_{xy} & k_{xz} & \varepsilon_x\\ k_{yx} & s_{gy} & k_{yz} &\varepsilon_y\\ k_{zx} & k_{zy} & s_{gz} & \varepsilon_z \end{bmatrix} \begin{bmatrix}\omega_{xi}\\ \omega_{yi}\\ \omega_{zi}\\1 \end{bmatrix} ⎣⎡​ωxo​ωyo​ωzo​​⎦⎤​=⎣⎡​sgx​kyx​kzx​​kxy​sgy​kzy​​kxz​kyz​sgz​​εx​εy​εz​​⎦⎤​⎣⎢⎢⎡​ωxi​ωyi​ωzi​1​⎦⎥⎥⎤​
6位置静态标定法
各轴输入角速度向量:
I = [ + ω − ω 0 0 0 0 0 0 + ω − ω 0 0 0 0 0 0 + ω − ω 1 1 1 1 1 1 ] I=\begin{bmatrix} +\omega & -\omega & 0 & 0 & 0 & 0 \\ 0 & 0 & +\omega & -\omega & 0& 0\\ 0 & 0 & 0 & 0 & +\omega & -\omega\\ 1 & 1 & 1 & 1 & 1 & 1 \end{bmatrix} I=⎣⎢⎢⎡​+ω001​−ω001​0+ω01​0−ω01​00+ω1​00−ω1​⎦⎥⎥⎤​
陀螺仪实际输出值:
O = [ ω x 1 ω x 2 ω x 3 ω x 4 ω x 5 ω x 6 ω y 1 ω y 2 ω y 3 ω y 4 ω y 5 ω y 6 ω z 1 ω z 2 ω z 3 ω z 4 ω z 5 ω z 6 ] O=\begin{bmatrix} \omega_{x1} & \omega_{x2} & \omega_{x3} & \omega_{x4} & \omega_{x5} & \omega_{x6} \\ \omega_{y1} & \omega_{y2} & \omega_{y3} & \omega_{y4} & \omega_{y5} & \omega_{y6} \\ \omega_{z1} & \omega_{z2} & \omega_{z3} &\omega_{z4} & \omega_{z5} & \omega_{z6} \\ \end{bmatrix} O=⎣⎡​ωx1​ωy1​ωz1​​ωx2​ωy2​ωz2​​ωx3​ωy3​ωz3​​ωx4​ωy4​ωz4​​ωx5​ωy5​ωz5​​ωx6​ωy6​ωz6​​⎦⎤​
有 O = G I O=GI O=GI
根据最小二乘公式:
G = O I T ( I I T ) − 1 G=OI^T(II^T)^{-1} G=OIT(IIT)−1
(更多的数据同样可以解)

2.随机误差

2.1加速度计
待补充

2.2陀螺仪
主要包括角度量化噪声(-1)、角度随机游走(-1/2)、零偏不稳定性(0)、角速率随机游走(1/2)和角速率斜坡(1)。
在 l o g 10 τ − l o g 10 σ ( τ ) log_{10}\tau-log_{10}\sigma(\tau) log10​τ−log10​σ(τ)双对数图上,如何读出误差系数:
量化噪声(Quantization Noise, QN) 其误差系数 Q Q Q,单位为 ′ ′ '' ′′:斜率为-1的线的延长线与 τ = 1 \tau = 1 τ=1交点的纵坐标读数为 3 Q \sqrt{3}Q 3 ​Q;
角度随机游走(Angular Random Walk, ARW) 其误差系数 N N N,单位为 ( ∘ ) / h 1 / 2 (^\circ)/h^{1/2} (∘)/h1/2:斜率为-1/2的线的延长线与 τ = 1 \tau = 1 τ=1交点的纵坐标读数即为 N N N;
零偏不稳定性噪声(Bias Instability, BI) 其误差系数 B B B,单位为 ( ∘ ) / h (^\circ)/h (∘)/h:斜率为0的线的延长线与 τ = 1 \tau =1 τ=1交点的纵坐标读数为 2 B / 3 2B/3 2B/3;
角速率随机游走(Rate Random Walk, RRW) 其误差系数 K K K,单位为 ( ∘ ) / h 3 / 2 (^\circ)/h^{3/2} (∘)/h3/2:斜率为1/2的线的延长线与 τ = 1 \tau = 1 τ=1交点的纵坐标读数为 K / 3 K/\sqrt{3} K/3 ​;
速率斜坡(Rate Ramp, RR) 其误差系数 R R R,单位为 ( ∘ ) / h 2 (^\circ)/h^{2} (∘)/h2:斜率为1的线的延长线与 τ = 1 \tau = 1 τ=1交点的纵坐标读数为 R / 2 R/\sqrt{2} R/2 ​;

单位换算问题?读出误差系数之后该怎么使用?

MEMS陀螺:较明显的三段 -1/2(0.01s-1s)、0(5s-100s)、1/2(>100s)
光纤陀螺:两段 -1/2(0.005s-200s)、0(很短)、1/2(>1000s)
激光陀螺:一段 -1(0.01s-10000s整条曲线)
陀螺精度越高,对应的Allan方差曲线应当越靠近横轴。

3. 深一步理解

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