薄膜微压力传感器阵列
薄膜微压力传感器在测量过程中,压力直接作用在传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻发生变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号,这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。
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