CPU推出的Kaby Lake沿袭了上一代Skylake的14nm工艺,那么什么是14nm工艺呢?

14nm主要以栅极线宽指标为准,即图1中gate(栅极)的宽度(在3d晶体管中指的是顶面宽的长度),当然也伴随晶体管本身的缩小,电流由source源极流向drain漏极,而栅极控制着电流的开关,而开关代表的就是数字世界的基础1和0。栅极线宽缩小的好处:

1、通电距离缩短,通电时间缩短,性能提升(理论上其他条件一致时,工艺越新,能跑的频率也越高)。
2、通过距离缩短,电流小,功耗降低。
3、线宽缩小,通电需要gate的加压变小,功耗降低。一代正常的工艺跃进通常会带来同性能下40%-60%的功耗降低,但是随着线宽的逐渐缩小,工艺提升带来的负面效应逐渐显现,工艺进步需要对付的远不仅是线宽缩小问题,同样重要或者说更重要的是抵消线宽缩小带来的负面效应。
负面效应主要来自以下两个方面:
1、漏电增加:线宽缩小,使得gate的绝缘能力不断下降,14nm时gate的宽度大致只有1个氧原子的厚度,如果14nm依然用老旧的二氧化硅作为gate材料,那么在“关”时的漏电率可想而知,这也就是当年Intel的90nm被130nm吊打的主要原因,同时产生的短沟道效应也对新的gate材质提出高要求,所以在45nm时intel使用了HKMG(高-K 栅极介电质+金属栅极)材料,漏电率降低为老二氧化硅的五分之一,三星32nm使用HKMG,台积电在28nm中后期才有HKMG,著名的28nm lp给台积电赢得了台漏电的殊荣,而AMD的女朋友由于有另一个抗漏电方案——SOI,所以45nm任性接着用二氧化硅。
我们知道HKMG算起来是45nm的新技术,到14nm这代工艺的gate线宽已缩小了3代,HKMG带来的红利也开始逐渐消散,这时候Intel率先在22nm上使用了3d晶体管结构(台积电和三星的finfet其实就是3d晶体管的意思),即晶体管立了起来,将原来gate控制面由1面扩展到了3面(下图中金色的代表源/漏两极,灰色为gate栅极),这使得gate的通断控制力成倍提升,漏电显著降低,无论高低负载状况功耗都会显著降低。
2、功耗密度增大:相同的面积下塞入了更多的晶体管,这也导致功耗密度增加,直接结果就是发热更集中,对导热要求更高,当发热超出散热能力时,热量就会迅速堆积,导致虽然产品本身功耗不高,但温度却很快上升,而温度上升又带来了新问题,半导体温度较高时,电阻率变低,直接后果就是gate的控制力显著下降,漏电极具增加,功耗进一步增加,形成恶性循环。

工艺的其他影响因素:1、工艺本身存在良品率问题,有冷体质和热体质之分(杂质含量)。2、其他技术指标一样,MASK(掩膜)的材料和设计的不同会带来差异,14/16nm需要近60层Mask。3、其他工艺技术带来的各种红利,比如SOI技术、info封装工艺,这里就不展开了。

                                      图1

                                     图2

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