《炬丰科技-半导体工艺》Micro-LED 显示器量化生产关键技术
书籍：《炬丰科技-半导体工艺》
文章：Micro-LED 显示器量化生产关键技术
编号：JFKJ-21-303
作者：炬丰科技
摘 要
为快速推动 Micro-LED 显示器产业化发展，结合 Micro-LED 微显示器的性能特点、制造 工艺流程和产品应用优势，重点分析了基于硅、蓝宝石衬底的 GaN 外延生长技术、芯片侧壁原子 层沉积技术、芯片转移和晶圆级键合等技术。
关键词： 新型平板显示；微缩化发光二极管；有机化合物化学气相沉积；原子层淀积；晶圆键合
材料制造工艺与设备
显示器产业技术正朝着高分辨率、高亮度、低功耗和柔性化快速发展，如图 1 所示，新型平板显 示技术主要包括液晶显示 （LCD）、等离子显示、有机发光二极管显示（OLED）和微缩化发光二极管显示（Micro-LED）等几类。
Micro-LED 微显示器制造工艺流程
Micro-LED 微显示器生产制造主要包括衬底外延生长、芯片制造、电路互联键合、性能检测等环节，各环节都有相应的材料、工艺、设备等关键技术要求。Micro-LED 微显示器基本工艺流程。
Micro-LED 芯片制造 略
Micro-LED 芯片巨量转移 略
GaN 外延生长工艺技术
Micro-LED 芯片尺寸是传统 LED 芯片的几十分之一、甚至更小，无法再使用传统的 LED 芯片 挑拣与分选技术。
芯片转移技术
芯片转移主要是通过剥离 LED 衬底，以临时衬底承载 LED 外延薄膜层，再利用感应耦合等离子蚀刻，形成微米等级的 Micro-LED 外延薄膜结构；或者先利用感应耦合等离子蚀刻。
《炬丰科技-半导体工艺》Micro-LED 显示器量化生产关键技术相关推荐
- 《炬丰科技-半导体工艺》硅片湿法清洗技术
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:硅片湿法清洗技术 编号:JFHL-21-1063 作者:炬丰科技 引言 以DRAM及CPU为代表的超大规模集成电路硅半导体器件,近年来成为个人电脑热潮 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》使用超声波喷涂技术的下一代半导体清洗技术研究
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:使用超声波喷涂技术的下一代半导体清洗技术研究 编号:JFKJ-21-1067 作者:炬丰科技 引言 在半导体器件的制造过程中,由于需要去除被称为硅晶片 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》单晶片光刻胶去除技术
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:单晶片光刻胶去除技术 编号:JFKJ-21-373 作者:炬丰科技 介绍 光刻胶的去除材料(光刻胶的去除)很快,但在实践中可能很困难和复杂.经典方法包 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》ICP刻蚀氮化镓基LED结构的研究
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:ICP刻蚀氮化镓基LED结构的研究 编号:JFKJ-21-826 作者:炬丰科技 摘要 氮化镓作为一种宽带隙半导体,已被用于制造发光二极管和激光二极管 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》硅上的单片紫外 LED 光电探测器
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:硅上的单片紫外 LED 光电探测器 编号:JFKJ-21-1150 作者:华林科纳 首次展示单片集成紫外灯(紫外线)发光二极管和可视百叶窗,基于在硅上 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》硅衬底氮化镓蓝光 LED 发光特性研究
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:硅衬底氮化镓蓝光 LED 发光特性研究 编号:JFKJ-21-308 作者:炬丰科技 [摘要] 氮化镓在照明设备内应用,具有较高发光效率,进而具有良好 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》利用microLED显示技术缓解芯片间通信瓶颈
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:自选择性化学镀 编号:JFKJ-21-1016 作者:炬丰科技 基于氮化镓的微透镜显示器产生的高速光发射器可以以更高的密度传输数据比铜更低的功率,带来 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》光电子器件及其应用
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:光电子器件及其应用 编号:JFKJ-21-1347 作者:华林科纳 网址:http://www.wetsemi.com/index.html 光电器件 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》单层胶体晶体的微纳米光刻技术研究进展
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:单层胶体晶体的微纳米光刻技术研究进展 编号:JFKJ-21-405 作者:炬丰科技 摘要 由于其迷人的特性和广泛的应用,高度有序的纳米结构在研究界引起 ...
- 《炬丰科技-半导体工艺》氮化镓的制备与表征
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:氮化镓的制备与表征 编号:JFKJ-21-303 作者:炬丰科技 摘要 为提升硅衬底氮化镓基 LED(发光二极管)器件的光电性能和出光效率,本文提出了 ...
最新文章
- 转贴：雅虎公司C#笔试题，看看你能解答多少
- 【深入浅出-JVM】（序）
- 如何使用Node.js获取当前脚本的路径？
- Linux 下复制(cp)目录时排除一个或者多个目录的方法
- 30岁自学python找工作-程序员自学Python开发，20到30岁几乎决定了你的未来！
- 常用的SAP系统FM
- MySQL学习笔记03【数据库表的CRUD操作、数据库表中记录的基本操作、客户端图形化界面工具SQLyog】
- ORACLE10回收站－Recyclebin
- Python+Opencv测量物体之间的距离
- jquery.lazyload.js详解
- 安恒杯月赛 babypass getshell不用英文字母和数字
- java命令javac java,使用命令行JAVAC编译Java
- C++/C代码审查表
- python求解括号匹配的相关问题
- 容器技术Docker K8s 19 容器服务ACK基础与进阶-容器网络管理
- 浅谈前端面向对象oop思想
- 第一章-网络安全行业
- 经济学实证论文写作经验分享
- java qq截图,qq截屏-qq截屏下载-javaweb下载站
- 更新谷歌浏览器 55 提示 adobe flash player 不是最新版本