MEMS振镜原理-李萨如图形Matlab仿真

光学MEMS振镜是激光扫描的最关键的器件，目前来说，按照不同的驱动方式，分为静电式、压电式、电磁式、热电式。作为光学MEMS入门小白，在此主要说清楚二维MEMS振镜扫描成像的原理。

二维MEMS振镜也称为二维谐振振镜，能够沿两个轴做简谐振动的反射镜，在做谐振运动的时候，就产生了李萨如图形。

利萨茹(Lissajous)曲线（又称利萨茹图形、李萨如图形或鲍迪奇(Bowditch)曲线）是两个沿着互相垂直方向的正弦振动的合成的轨迹。

MATLAB仿真源码如下：

function lissajousfigures() %李萨如图形
clear;
clc;
global A1 w1 fai1 A2 w2 fai2;
options={'水平振动振幅A1','水平振动频率w1','水平振动初相位fai1',...'竖直振动振幅A2','竖直振动频率w2','竖直振动初相位fai2'};
topic='seting';
lines=1;
def={'1','1','0','1','1','0'};
h=inputdlg(options,topic,lines,def);
A1=eval(h{1});
w1=eval(h{2});
fai1=eval(h{3})*pi/180;
A2=eval(h{4});
w2=eval(h{5});
fai2=eval(h{6})*pi/180;
%***************************************************************
t=linspace(0,2*pi/w1*2*pi/w2,10000);%两个振动周期的公倍数
x=A1*cos(w1*t+fai1);%x方向的振动
y=A2*cos(w2*t+fai2);%y方向的振动
plot(x,y);
tuzhu=['w1:w2=',h{2},':',h{5}];
text(-2,2,tuzhu);
T1=num2str(1/w1);
T2=num2str(1/w2);
text(1,2,['T1:T2=',T1,':',T2]);
%图形显示范围
axis([-A1-2 A1+2 -A2-2 A2+2]);
title 李萨如图形

参数设置如下：

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