集成电路+太阳能发电+芯片制造+平板显示+锂电烘干+制药爱德华Edwards干式真空泵应用

深圳市托理拆利机电设备有限公司是Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，电子厂厂务真空系统，锂电池真空设备、光伏真空设备、为科研真空设备、实验室真空设备、科学仪器真空设备、半导体真空设备、工厂高真空设备、学校高真空设备提供优化的真空解决方案。

干式真空泵市场规模提高的关键推动要素来自于生物制药，制药企业运用干式真空泵在药物、化工中间体、原材料的生产流程中维持合适的反映自然环境，及其用以持续上升的新药研究主题活动。亚洲地区是干式真空泵市场增长速度较快的地区，关键推动要素是稳步增长的半导体材料和电子器件产业发展趋势。

干式真空泵行业应用

集成电路行业干式真空泵

干式真空泵是半导体材料各制造中必不可少的通用机械，运用于单晶体拉晶、Load-Lock、离子注入、CVD、分子层堆积（ALD）、封裝、检测等清理或苛刻制造。获益于近些年集成电路产业的持续增长，干式真空泵产业也维持着不断平稳的未来发展趋势。以 12 英尺圆晶生产流水线为例子，每 3.5 万片/月生产能力必须约 2,000 台机械泵。2019 年全世界圆晶在运生产能力折算12 英尺约 869 万片/月，假定总量干式真空泵每一年拆换20%（晶圆制造公司对干式真空泵的使用寿命一般为 5 年），按每台干式真空泵平均价 10 万余元估计，2019 年全世界集成电路行业干式真空泵总量更换市场规模约 100 亿人民币。

太阳能发电行业干式真空泵

干式真空泵是太阳能发电产业的晶体材料和硅片生产制造的必需机器设备。2019 本年度中国内地硅片生产能力 173.7GW，晶体材料和硅片生产制造每 GW 必须约 200 台干式真空泵。依据隆基股份、中环股份、晶澳高新科技、晶科能源等光伏产品生产商的公示，预估 2020 年-2022 年每一年将增加硅片生产能力约 50GW，亦即每一年因增加硅片生产能力提升干式真空泵市场的需求约 7亿人民币。综上所述，预估以后两年太阳能发电产业对干式真空泵的市场前景为每一年 12-15 亿人民币。

干式真空泵在别的产业运用

除集成电路和太阳能发电产业外，干式真空泵做为通用机械，因为其具有较好的清洁真空泵特点和稳定性，因而是 LED 产业的外延片生长发育和芯片制造、平板显示器产业 PVD 等加工工艺阶段真空得到的首要机器设备。除此之外，干式真空泵在锂电烘干处理工艺流程，及其制药业、化工厂等产业中都有比较普遍的运用。

Edwards爱德华干式真空泵系列：

小型干式泵：

干式多级罗茨泵：Edwards nXLi 风冷式单相干泵

干式涡旋泵：Edwards XDS、nXDS 和新型 mXDS 系列干式涡旋泵

干式隔膜泵：Edwards 隔膜泵

nXLi 干式多级罗茨泵：Edwards nXLi 风冷式单相干式泵

nXRi 干式多级罗茨泵：高性能紧凑型干式泵 nXR30、40、60、90 和 120i

化学品干式泵：CXS CDX EDP

半导体干式泵:半导体真空泵

油封泵:EOSi 旋转螺杆\E2M0.7-28 旋片式真空泵\E2M 40-275 旋片式真空泵\E2S 双级旋转式叶片泵\RV 双级旋片泵\Stokes Microvac 旋转活塞泵\nES 单级旋片泵

罗茨/增压真空泵：EH\HV\Stokes 6" 机械增压泵

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