基于IC617创建保护环GuardRing(一)
这里是基于目前学习情况的总结,道行比较浅,非常欢迎同行们对于相关知识进行评论,对错误的地方进行指出,感谢大家~
一、情况说明
工具:基于IC617的Multipart Path
工艺:smic18
情况:基于在不了解工艺,也不查看designrule的情况下利用Multipart Path制作单排孔/多排孔的GuardRing
二、简单制作GuardRing的方法
SP GuardRing
- 在键盘上面点击O,出现下面的界面,选择M1_SUB,columns填5后点击Hide
- 出现下面的版图
- 观察对应的宽度和距离,首先AA的宽度为0.42
- CT孔到AA边缘的距离是0.1,CT孔之间的距离是0.25
- SP的宽度是0.78,到AA的距离是0.18
SN GuardRing
- 在键盘上面点击O,出现下面的界面,选择M1_NW,columns填5后点击Hide
- 出现下面的版图
- 观察对应的宽度和距离,首先AA的宽度为0.42
- CT孔到AA边缘的距离是0.1,CT孔之间的距离是0.25
- SN的宽度是0.78,到AA的距离是0.18
- NW的宽度是0.86,到AA的距离是0.18
- 接下来就基于上述的参数用Multipart Path制作单排孔的GuardRing
三、了解GuardRing
- 主要有两种GuardRing,一个是SP GuardRing(环在N管周围),一个是SN GuardRing(环在P管周围),SN GuardRing会比SP GuardRing多一层NW,所以我们首先先做SP GuardRing,后续基于SN GuardRing再来制作SP GuardRing
- 然后基于单排孔来制作多排孔
- 了解层次
- SP GuardRing:
- AA:有源区,作为GuardRing的基底,主要是设置对应宽度就行
- CT:通孔,用Subrectangle创建,主要设置通孔的长宽、通孔之间的间距以及边缘到AA之间距离
- M1:金属1,用Offset subpath创建,主要设置M1的宽度
- SP:SP注入,用Offset subpath创建,主要设置SP的宽度以及到AA之间距离
- SN GuardRing:
- 其他的同上
- SN:SN注入,用Offset subpath创建,主要设置SN的宽度以及到AA之间距离
- NW:N井,用Offset subpath创建,主要设置NW的宽度以及到AA之间距离
- SP GuardRing:
- 总结
- 目前制作的思路是先做AA有源区,设置好对应的宽度;在在这个基础上,先放CT,再放M1,最后放SN
四、利用Multipart Path制作单排孔的GuardRing
1.制作SP GuardRing
1)AA
首先在版图界面,选择有源区AA
点击【Create】-【Multipart Path】
然后点击键盘上面的F3,则会出现以下界面
可以设置对应的名称,后续可以选择保存该GuardRing;目前这一步主要设置的是AA的宽度,设置为0.42
点击Hide
在版图上面出现下面就设置成功了,注意先不要画上这条线
2)CT
- 继续点击F3,点击Subpart,出现下面的界面
- 添加CT,将CT到AA的距离设置成-0.1,相当于往回缩了0.1
- 此时CT就设置好了,但是注意不要画,后续做M1
3)M1
- 先点击【offset Subpart】后选择M1金属,最后添加
- 会出现下面的版图,但是M1金属的宽度设置有问题
- 根据上面的数据将M1的宽度设置成0.34
- 出现下面的版图
- 此时M1就设置完成
4)SP
- 在刚刚那个界面上,选择层次为SP后修改宽度等数据后添加
- 则会出现下面的版图
- 此时SP也添加完毕
- 最后可以将对应的设置保存起来,方便下次使用
2.制作SN GuardRing
基于上面SP GuardRing的设置制作SN GuardRing
上面按照SP GuardRing设置好了,之后继续添加NW,将宽度设置成0.86,到AA的距离设置成0.18
则会出现下面的版图
最后可以将对应的设置保存起来,方便下次使用
五、利用Multipart Path制作多排孔的SP GuardRing
了解SP GuardRing
- 首先看利用调通孔的方式生成多排孔SP GuardRing
- 观察下面的图形,AA的宽度是0.89,M1的宽度是0.81,SP的宽度是1.25;主要是通孔的设置有些特别,后续再讲
制作SP GuardRing(二排孔)
由于有单孔设置已经讲解了很多,下面有部分将不再赘述
添加通孔,Separation指的是孔的边缘到基准线中心的距离。
设置基准线为右边,距离应该是0.1+0.22(通孔的宽度)=0.32
同理设置基准线为左边,距离应该是0.1+0.22(通孔的宽度)=0.32
制作SP GuardRing(三排孔)
- 利用通孔查看宽度设置,AA的宽度是1.36,M1的宽度是1.28,SP的宽度是1.72;
- 制作SP GuardRing(三排孔)
- 版图如下
六、总结
- 通过上面的过程大概了解了利用Multipart Path制作想要的通孔,但是上述通孔在实际使用当中设置可能也会有更好的设置;
- 目前大家可以根据上述过程可以设置自己想要的GuardRing,真正了解了Multipart Path这个功能的使用这篇文章就有它存在的意义
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