白光干涉仪在微透镜阵列微观三维形貌测量中的作用

微透镜阵列，是将众多微透镜按一定规律排列组合的光学器件。起到聚集或发散光路的作用，具有高分辨率和高灵敏度的特点。

在需要匀化激光的激光设备、聚集光线的数字投影仪、紧凑型成像的消费类电子，都有广泛的应用。

如何快速、精准、便捷的测量其微小关键尺寸，确保良率，是困扰生产厂家多年的痛点。

图1-微透镜在优可测白光干涉仪下的成像效果

优可测白光干涉仪，能为微透镜阵列产品提供怎样的测量方案呢？

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曲率半径测量

影响焦距的位置，曲率半径越大，焦距越长。是品控过程中必不可少的测量项目。

图2-优可测白光干涉仪的微透镜曲率半径测量

矢高测量

影响微透镜阵列的均匀性，进而影响成像均匀性、耦合性等问题。

图3-优可测白光干涉仪的微透镜直径、高度测量

粗糙度测量

对光路有明显影响，严重的可能导致部分微透镜在阵列中失效，甚至破坏其他微透镜单元成像效果。

图4-优可测白光干涉仪的粗糙度测量

面型对比

整体形貌的重要参数，优可测白光干涉仪可实现面型轮廓比对、K值计算。

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优可测Atometrics白光干涉仪AM系列完美胜任微透镜领域的测量工作！

并在如下几点做到了行业Top效果

1、高NA值镜头&弱光提取算法，角度特性大，边缘尺寸一览无遗；

2、高速度压电陶瓷&独特SST算法，可最大400μm/s扫描，急速成像；

3、超滑镜片粗糙度轻松测量，低至0.02%反射率亦可精细采集成像；

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