容性耦合等离子体(CCP)和电感耦合等离子体(ICP)
将腔体中的两个电极,一个加射频电流,另一个接地,由两电极之间的反应气体形成的等离子体被称为容性耦合等离子体(Capaciltively Coupled Plasma,CCP)。
高频电流经感应线圈产生高频电磁场,腔体内反应气体形成的等离子体被称为电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)。
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