激光共聚焦显微镜在材料生产领域中的应用
在材料生产领域中,如需要分析金属材料/部件粗糙度的时候,不管是使用原子力显微镜还是台阶仪,都没有办法同时兼顾分辨率、扫描区域以及扫描速度。而基于激光共聚焦显微测量技术的共聚焦激光扫描显微镜,配备了真彩相机并提供还原的3D真彩图像,对细节的展现纤毫毕现,能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。并且可以在保证分辨率的同时满足测量速度的需求。
1、非接触式扫描,操作简便,样品即放即扫。
应用:垫圈
激光共聚焦显微镜非接触式扫描测量速度比接触式测量快数百倍。能以更高的精度对亚微米范围的3D结构进行测量,短时间内能测量整个面板表面密封件的性能,以及其与表面组成相关的各种数据点。
2、具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能,粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
应用:金属板
除粗糙度评价标准外,激光共聚焦显微镜还可以计算和评估表面封闭区域的微体积,适用于评估这些重要的功能性三维结构。结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
应用:摩擦学,腐蚀等表面工程
磨痕的体积测量,粗糙度测量,表面形貌,腐蚀以及亚微米表面工程后的表面形貌。
应用:半导体/ LCD
各种工艺(显影,刻蚀,金属化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌观察, 缺陷分析 非接触型的线宽,台阶深度等测量。
3、具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量。
在样品表面抽取多个区域测量,就可以快速实现大区域、高精度的测量,从而对样品进行评估分析。
激光共聚焦显微镜具有高对比度、高分辨率及可重建三维图像的优势,查看各种显微照片更加清晰,在材料生产、科研和检测领域获得广泛应用。
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