哪些行业应用中白光干涉仪可能替代共聚焦显微镜使用

共聚焦有更好的XY分辨率，图像清晰，但是Z向精度是十纳米以上。

白光干涉仪XY分辨率不如共聚焦显微镜，但是Z向精度纳米和亚纳米级别。

此外，白光的扫描速度是共聚焦速度的10倍以上。

所以在Z向精度和速度上，都可以完美替代和超越共聚焦显微镜的功能。

例如半导体、镜片、医疗、精密电子、刀具、镜面产品加工等等，白光干涉仪仪均有很好的应用替代性。

白光干涉仪原理动态图展示

共聚焦显微镜原理动态图展示

白光干涉仪在半导体制造中应用广泛

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