SILVACO 学习笔记第一章
silvaco 学习笔记
第一章 仿真基础
主要认识了什么是silvaco,然后具体操作要按照1.3的语法格式进行,本章不多说了。
基本语法:
“|” 号表示两边的参数选其一
不要随便加空格 加了以后就会影响读取, QSTRING表示字符串,但凡可以由字符串表示的物理量都能用QSTRING 表示,Tonyplot 中可以显示的量都可以作为<QSTRING>。
expr命令为Linux中的命令,一般用于整数值计算,但也可用于字符串操作。'expr'支持普通的算术操作,算术表达式优先级低于字符串表达式,高于逻辑关系表达式。
命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开;
Silvaco 中字符串参数的命名规则很简单,很易读。 如果参数只有一个属性,则用一个单词就可以表示,如“硅” 用单词 silicon,“材料” 用单词 material 表示。如果参数具有两个或多个属性,则参数的名称将由两个或多个单词的缩写拼接而成,单词之间由点连接,一般是左边的参数限定或说明右边的参数。例如“温度的值”(temp.val),“偏置的步长”(bias.step),“材料的序号”(mat.occno,“occno”是 number of occurrence 的意思), “某二维区域内的最大浓度”(2d.max.conc)等。对于特定的命令如果仿真语句中没有给出参数值则会采用默认值,用户可以查询手册来了解默认值极其默认单位。
维度:因为在初始化时没有“two.d”参数,所以默认从一维仿真开始。ONE.D, TWO.D, AUTO: 仿真的初始维度,如果是 ONE.D 则需设定 X.LOCAT 参数。默认是 AUTO,即一开始采用一维计算直到需要采用二维计算(通常从 etch 开始)。 比如书中例子:图 2.4是 auto 的结果,而图 2.9 是在初始化时设置了 two.d 参数的效果;
必须会的基础:
go atlas
set temp=1000 任意变量的使用需要$ 而且也可以操作赋值等等
设置之后怎么显示: tonyplot structure - set show.set
Save Set Files 可将当前的显示方式保存在相应的set文件中,set 文件需要放在工作路径中,以便于程序查找到。
怎么画图:tonyplot
画图之前需要保存: structure outfile=***.str
有可能存在这样的问题:无法画图,目前我有的猜测是这样的,没有可以画的东西,或者没法读str文件。
第二章 二维工艺仿真
在这块我首先见到图形界面的命令,直接用PROCESS选项框就能自动生成代码,轻松准确,但是为了更好地掌握语法,还是要学习会自己写语句。
而且在写的过程中不要随便加空格,会影响句子的使用
2.2工艺流程
2.2.1 定义网格
一开始我不知道怎么显示网格生成的界面,后面发现是在mesh define里面有。
遇到问题:书里的示例程序不能被软件识别,明明都是in文件还是不能兼容,这个是因为软件版本高,可以把示例程序用记事本打开,去掉里面的符号,变成本版本能用的格式、这个故事告诉我们:txt软件简直强大,我本来以为除了软件没法打开这种in文件了。
还有tonyplot 的用法,图是可以操作的,比如例子里的注入前和注入后就不是弹出两个图,而是在一个图上进行操作。
这里发现自己的探索能力非常有待提高。不能只做搬运工,要勇于探索,勇于创新。
离子注入:
SVDP(SIMS-Verified Dual Pearson)
Binary Collision Approximation (BCA)
淀积:
deposit 语句中divisions表示外延层纵向网格点数
今天把工艺走了一遍,还有一些问题,比如无法读取文件,后来几个都没法建立STR文件 真是奇了怪了。
还有画图问题。
等解决了再来补充吧。
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