集成电路(IC)&摩尔定律

  • 一、发展简史
  • 二、光刻
  • 三、摩尔定律
  • 四、参考资料

一、发展简史

1940年代~1960年代中期,计算机都由独立部件组成,叫“分立元件”,然后不同组件再用线连在一起。如果想提升性能,就要加更多部件,这导致更多电线,更复杂,这个问题叫“数字暴政”。
(分立元件的定义:只有一个电路元件的组件,可以是被动的(电阻,电容,电感)或主动的(晶体管或真空管))

1950年代中期,晶体管开始商业化(市场上买得到),开始用在计算机里。晶体管比电子管更小更快更可靠,但晶体管仍然是分立元件。

1959年,IBM把709计算机从原本的电子管全部换成晶体管,诞生的新机器IBM 7090,速度快6倍,价格只有一半。晶体管标志着“计算2.0时代”的到来。(未解决“数字暴政”的问题)

1959年,Jack Kilby用锗来做集成电路,锗很稀少而且不稳定。Robert Noyce 的仙童半导体公司用硅将集成电路变成了现实,硅的蕴藏量丰富,占地壳四分之一,也更稳定可靠。所以Noyce被公认为现代集成电路之父。开创了电子时代,创造了硅谷(仙童公司所在地)。
(与其把多个独立部件用电线连起来,拼装出计算机,不如把多个部件包在一起,变成一个新的独立组件,这就是集成电路(IC,Integrated Circuits)

起初,一个集成电路只有几个晶体管,即使只有几个晶体管,也可以把简单电路封装成单独组件。可以将这些集成电路进行组合设计,创造更大更复杂的电路,这是面临一个问题:集成电路之间还是需要连起来
工程师再度创新:印刷电路板,简称PCB(printed circuit boards)。它通过蚀刻金属线的方式,将两个组件连接到一起。将PCB和IC结合使用,可以大幅减少独立组件和电线,做到相同的功能的同时更小、更便宜、更可靠。

即使组件很小,塞5个以上的晶体管还是很困难,为了实现更复杂的设计,需要全新的制作工艺——“光刻”登场。就是用光把复杂图案印到材料上,比如半导体。它只有几个基础操作,但可以制作出复杂电路。

二、光刻

1、晶圆(硅)——长的像薄饼干一样,用晶圆做基础,把复杂金属电路放上面,集成所有东西。
2、在硅片顶部加一层薄薄的氧化层,作为保护层。
3、再加一层特殊化学品,叫“光刻胶”。(光刻胶被光照射后,会变得可溶,可以用一种特殊化学药剂洗掉)
4、再加光掩膜(类似于胶片,上面印有要转移到晶圆上的图案),把光掩膜盖到晶圆上。

5、用强光照射,挡住光的地方,光刻胶不会变化。光照到的地方,光刻胶会发生化学变化,洗掉它之后,暴露出氧化层。

6、用另一种化学物质——通常是一种酸,可以洗掉“氧化层”露出的部分,蚀刻到硅层。注意:氧化后层被光刻胶保护住了。

7、为了清理光刻胶(未被照射的部分),我们用另一种化学药品洗掉它。

8、现在硅又暴露出来了,我们想修改硅露出来的区域,让它导电性更好,所以用一种化学过程来改变它,叫“掺杂”。“掺杂”通常用高温气体来做,比如“磷”渗透进暴露出的硅。改变电学性质。

8、还需要几轮光刻法,来做晶体管。过程基本一样,先盖氧化层,再盖光刻胶。然后用新的光掩膜,这次图案不同,在掺杂区域上方开一个缺口。

9、洗掉光刻胶(照射的部分),再洗掉氧化层。

10、再洗掉光刻胶(未被照射的)


11、然后用另一种气体掺杂,把一部分硅转成另一种形式,为了控制深度,时机很重要,不能超过之前的区域。

12、现在所有需要的组件都有了。最后一步,在氧化层上做通道,这样可以用细小金属导线,连接不同晶体管。再次用光刻胶和光掩膜,蚀刻出小通道。

13、洗掉光刻胶(照射的部分),再洗掉氧化层,再洗掉光刻胶(未被照射的部分)。



14、现在用新的处理方法,叫“金属化”,放一层薄薄的金属,比如铝或铜。但我们不想用金属盖住所有东西,我们想蚀刻出具体的电路,所以又是类似的步骤:用光刻胶+光掩膜,然后溶掉暴露的光刻胶,暴露的金属。

洗掉光刻胶(照射的部分)

洗掉暴露的金属化

洗掉光刻胶(未被照射的部分)


晶体管终于做好了,它有三根线,连接着硅的三个不同区域。每个区域的掺杂方式不同,这叫双极型晶体管(BJT)

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