L-Edit

是一个用来画集成电路的软件，也可以用来画光栅。

软件下载以及简单的使用教程

软件下载
教程（简略）
教程（相对更全面）

画光栅

预设

画圆形需要画图工具栏中那三个按钮（即图中最右侧的红框里的），但刚打开这个软件时可能没有这三个按钮。此时需要右击 switching to draw orthogonal polygons 按钮（即图中左侧红框），选择下拉列表中的 all angle & curves （即图中最下方红框）

新建层（layer）

为了方便看，要设定层的填充颜色。
在工具栏旁边右击，选择 library and cell lists 和 layer palette，分别在窗口左边呼出元胞和层的工具栏。

在层的工具栏中右击，选择 layer setup，可以改变层内元件的填充颜色。

画元胞（cell）

画光栅的基本单元

绘制

要画的光栅参数如下：

然后在界面左侧的元胞框中新建一个元胞，名为circular. 在这里画光栅的基本结构。
使用画圆按钮，先画一个以原点为圆心，半径为5微米的圆。然后再画一个10微米的圆。同时框选这两个圆，点击操作栏中的布尔运算按钮，选择大圆减小圆，得到我们开头看到的那个圆环。

平滑

一般做完布尔运算后我们会发现原来的圆变成了一个正八边形，这是因为软件实际将圆用一个正多边形来表示。

为了解决这个问题，需要点击菜单栏中的 setup -> design -> grid，在 manufacturing grid 中，将格点尺寸取小一点（如0.005微米），然后勾选用制造的网格显示曲线（即显示导出后的结果），这样曲线就会变得更平滑。

另一种绝活是将这个圆转换成多边形。在菜单栏中选择 draw -> convert -> to polygon，即可将这个圆转换成多边形。这时再选择这个圆环，ctrl+E点开元胞属性，我们可以看到这个元胞成为了一个有400多个格点的多边形。
这时再把manufacturing grid 调大，也不会出现退回多边形的问题。

画光栅阵列

新建一个元胞并将其打开，将之前的元胞 circular 拖入工作区。可以看到被导入的元胞已经作为一个整体，只能修改其尺寸。
接下来将光栅的基本单元在x和y两个方向做周期性的重复。选中circular，按ctrl+E，开始编辑物体。
红框1 尺度因子, 以分子和分母的形式改变尺寸。
红框2 重复，分别填x和y方向重复的个数，旁边的 delta 即相邻重复单元间距。
红框3 平移。

基本单元的直径为25微米，总的区域为5cm，因此需要重复200次。然后将重复完的阵列平移回坐标原点。

导出

这里选择首先将光栅阵列的元胞导出。
菜单栏中点击file -> export mask -> GDSII. 选择 all cells 进行导出。

要注意的问题有以下两点：

导出的时候默认无法处理超过200个顶点的多边形，所以对于这个环形光栅，会导出一个空文件，此时需要勾选 fracture polygons with more than …
导出的时候每个层都要有自己的编号和数据类型（我目前还没弄懂数据类型是什么意思）
在 layer palette 中右击，选择 setup layers，给层设置编号和数据类型。

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