高端光刻机为什么那么难制造?
光刻机又名掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
要知道光刻机制造的难度,就得知道光刻机的几个关键部件:
光源:必须稳定、高质量地提供指定波长的光束
能量控制器:就是电源。电源要稳定、功率要足够大,否则光源发生器没办法稳定工作。大、稳、同时要考虑经济性能。耗电太高,客户就用不起。
掩膜版:通俗点理解,相当于过去用胶片冲洗照片时的底片。底片如果精度不够,是洗不出来高精度照片的。光刻机施工前,要根据设计好的芯片电路图制作掩膜板。掩膜板材质是石英玻璃,玻璃上有金属铬和感光胶。通过激光在金属铬上绘制电路图。精度要求非常高。
透镜:用透镜的光学原理,将掩膜版上的电路图按比例缩小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中会产生光学误差。要控制这个误差。精度要求很高。
就是测量台移动的控制器,也是纳米级精度,要求超高。
荷兰的ASML公司垄断了高端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer。所以说它也不是完全技术独立。主要是技术难度太大。
资金上的困难
光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,以至于佳能和索尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。荷兰的ASML,为了筹集资金,同时也是进行上下游利益捆绑,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自己的大股东。ASML实际上是美、日、韩、德等共同投资的项目,资金充裕。
中国也在此方面有长期投入,但投入水平和不能和多国合作同日而语。中国有相对宽裕的研发资金,也才是最近7、8年的事情,而光刻机的研发,10年都显然不够。
我们能不能也参与到荷兰的ASML的研发中呢?是不行的。因为发达国家之间,由美国牵头,搞了个《瓦森纳协定》,专门对中国进行技术禁运,技术封锁的。我们也买不到荷兰的ASML最新的光刻机,更别说参股和技术合作了。
目前我们还在追赶,量产的是上海微电子的90纳米的,离ASML的10 纳米的差距很大。下一步,随着长春光机所的极紫外光技术的突破,有望冲击22-32纳米的技术。那时荷兰可能进入7纳米时代。虽然和7纳米还有很大差距,但如果能实现,进步也是惊人的。如果能做出量产型,就是世界第二的水平了。
高端光刻机为什么那么难制造?相关推荐
- euv光刻机有什么用_日本光学技术全球第一,可高端光刻机为何只有荷兰能造?...
本文原创,请勿抄袭和搬运,违者必究 日本光学技术 在科技领域,光刻机从来都是最顶尖的神话,很多科学家,工程师能够参与高端光刻机的设计和制造,就已经代表其在业内的顶尖水准了.一台光刻机能够被制造出来,需 ...
- 波司登的高端之路,难走!
文|陈曦 来源 | 螳螂财经(ID:TanglangFin) 618又要来了.每次要过"电商节",就是疯狂收短信的时候,年轻妈妈小徐笑称:"光看短信就能知道我去年双十一到 ...
- 水井坊:“高端化”的尴尬与库存危机
两次遭遇黑天鹅后的业绩骤降,给水井坊的高端化路线蒙上了阴影. 文|周怡 编辑|严睿 情理之中与预料之外的业绩"塌陷",让白酒板块第一个公布中报业绩的水井坊(600779.SH)突然 ...
- 新荣记、大董、巴奴逆势扩张,高端餐饮的进击与野望
一场疫情推动了餐饮消费需求的改道,也加快了行业结构性分化的速度.这其中,一个令市场有些意外的变化就是此前被认为很难搞的高端餐饮迎来了春天. 8月27日,喜家德创始人高德福说,"我做高端饺子喜 ...
- 虎视眈眈的高端生肖酒
本文概述:虎年生肖酒因为美好的寓意,在春节前后又掀起了一股抢购热潮.各大白酒品牌纷纷推出生肖纪念款,尤其是高端市场,必然不会错过这个噱头.不仅仅是卖酒这么简单,这背后是酒企们为了抢占品牌营销机会的大比 ...
- 智能机器人:衡量高端制造水平的重要标志
当前机器人制造已进入2.0时代,也就是智能机器人时代.今天智能机器人的应用无处不在,尤其在制造业发挥着十分重要的作用,实现了社会经济价值.正如国际知名学者周海中教授所预言的那样:"随着科学技 ...
- 高端android手机,高端机型很难选择?这几款手机就很不错,你肯定有中意的
高端机型很难选择?这几款手机就很不错,你肯定有中意的 2020-09-01 13:42:20 1点赞 1收藏 2评论 对于那些*级水准的手机来说,虽然它们距离真正的旗舰只差那么一点点,但是性能方面可不 ...
- word2vector数据集样式_这样做数据可视化驾驶舱,高端大气,一目了然,领导不点赞都难...
2020年了,数据可视化已经不是个新鲜词了,把数据以可视化图表的形式展示并没有多神奇,用Excel等传统的办公工具就可以轻松实现. 以前传统数据分析报告就是ppt里贴图表,再配上分析结论,这种形式的数 ...
- 【白皮书】中国高端制造投融资白皮书.pdf(附下载链接)
今天给大家分享投中研究院于2020年5月发布的<中国高端制造投融资白皮书.pdf>.白皮书共包含如下六大章节,希望对您有帮助: 1.行业概述: 2.行业发展现状: 3.投融资分析: 4.重 ...
最新文章
- pyqt designer connect无响应_如何用PyQt编写桌面程序,创建并打开播放列表?
- 【Clique Problem】
- spring boot / cloud (二) 规范响应格式以及统一异常处理
- linux系统怎么设置开机密码,Linux_Linux系统怎么设置开机密码?Linux设置开机密码的方法,为了保证Linux系统的安全,应 - phpStudy...
- WAF自动化Fuzz工具-WAFNinja(绕WAF、绕过WAF)
- 一图读懂基于鲲鹏处理器的全栈混合云华为云Stack6.5
- SQLServer中一个多用户自动生成编号的过程
- Enterprise Library 5.0 中的Validators
- [转]虚函数实现原理
- android三国2,三国演义2单机版安卓
- 高层管理者的必备技能
- Mac删除自带输入法
- 电机电缆M12航空插头
- 季琦谈创业:三对矛盾和三个关口[转]
- 传奇盗号木马清除手记(转)
- 常见排序算法02之插入排序与希尔排序
- 阿里云天池机器学习task3
- Go 调用 Java 方案和性能优化分享
- (转)如何成为一名优秀的程序员?
- jpg转换为word可编辑的怎么转换呢
热门文章
- 网络安全全面防应对难察觉网络威胁!
- android 消息推送方法,一种基于Android系统的消息推送方法技术方案
- java提示系统找不到指定路径怎么解决?
- 出现You are using pip version 19.0.3, however version 20.0.2 is available.怎么办
- 湖南省计算机等级考试(二级)题库 第四部分
- 12月份参加工作的年假怎么休_请问我的年假可以在12月份休吗?单位说可以12月1日就不用上班了,我可以上到12月28日吗?...
- 无法安装此计算机不存在英特尔,win10系统提示无法安装驱动程序,此计算机中没有Intel适配器怎么办...
- 金山快盘 linux,WPS移动版5.5发布 支持金山快盘双向读写
- 一汽启明的PDM解决方案
- threejs 导出obj_Three.js保存导出.ply、.obj、.GLTF等格式三维模型