SECS/GEM协议网站 www.secsgem.cn

1 HSMS

1.1高速SECS消息服务（HSMS）为独立的制造商提供了一种方法，使他们可以实现可相互连接和互操作的实现，而无需彼此之间有特定的知识。

1.2 HSMS旨在作为SEMI E4（SECS-I）的替代产品，用于需要高速通信或简单的点对点拓扑不足的应用中。 SEMI E4（SECS-1）仍可用于不需要HSMS的这些和其他属性的应用中。

1.3 HSMS还可以替代SEMI E13（SECS消息服务），用于TCP / IP优先于OSI的应用。

1.4 HSMS旨在由附属标准补充，这些附属标准进一步规定了其使用细节或对其在特定应用领域中的使用施加了限制

2 SECS I

2.1 修订历史——这是自 1980 年 SECS-I 最初发布以来的第一次重大修订。SECS-I 的最初意图几乎没有改变，尽管有一些重要的补充。附录 1 中总结了这些变化。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会 12 合作制定的。

2.2 意图——本标准为独立制造商提供了一种生产设备和/或主机的方法，这些设备和/或主机可以在不需要彼此特定知识的情况下进行连接。

3 GEM

3.1 GEM为所有半导体制造设备定义了SECS-II的标准实施。 GEM标准定义了一套通用的设备行为和通信功能，可提供支持半导体设备制造商制造自动化程序的功能和灵活性。设备供应商可提供未包含在GEM中的其他SECS-II功能，只要附加功能不与GEM中定义的任何行为或功能冲突即可。此类添加可能包括SECS-II消息，收集事件，警报，远程命令代码，处理状态，可变数据项（数据值，状态值或设备常量），或类别特有的其他功能（蚀刻器，步进器等）。）或特定设备实例。

3.1.1 GEM旨在为设备制造商和设备供应商带来经济效益。设备供应商受益于开发和销售满足大多数客户的单一SECS-II接口的能力。设备制造商受益于所有制造设备中SECS-II接口的增强功能和标准化。这种标准化降低了设备供应商和设备制造商的软件开发成本。通过降低成本和增加功能，设备制造商可以更快，更有效地实现半导体工厂的自动化。 GEM标准提供的灵活性还使设备制造商能够在通用的行业框架内实施独特的自动化解决方案。

3.1.2 GEM标准旨在指定以下内容：

1.半导体制造设备在SECS-II通信环境中展示的行为模型，

2.半导体制造环境中所需的信息和控制功能的描述，

3.半导体制造设备基本SECS-II通信能力的定义，

4.当SECS-II提供多种可能的方法时，一种一致的完成操作的方法，以及实现有用通信功能所必需的标准消息对话。

3.1.3 GEM标准包含两类要求：

1.基本的GEM要求和

2.额外GEM功能的要求。

3.1.4 GEM基本要求构成了创业板标准的基础。额外的GEM功能提供某些类型的工厂自动化所需的功能或适用于特定类型设备的功能。有关GEM基本要求和其他GEM功能的详细列表。

3.1.5设备供应商应与其客户合作，确定应为特定类型的设备实施哪些额外的GEM功能。由于GEM标准中定义的功能是专为满足半导体制造商的工厂自动化要求而开发的，因此预计大多数设备制造商将需要适用于特定类型设备的大多数GEM功能。由于工厂自动化策略的不同，一些设备制造商可能不需要所有GEM功能。

4. 产品介绍

金南瓜SECS是最适应于全自动智能设备的选择。 DMS SECS具有怪兽级的强劲性能，全面升级的高适应性，易用友好的SECS工具，利于快速开发部署。

金南瓜SECS兼容运行在独自工控机，或与设备软件集成在一台工控机，让用户灵活应对各种使用场景。

5. 软件清单与展示

软件目录清单

5.1软件清单

1 SECS/GEM用户

提供EquipViewApp.exe和HostViewApp.exe俩款测试软件，分别对应的场景是设备端和主机EAP端模拟。

2. PLC SECS/GEM用户

提供EquipViewApp.exe、 PlcSecsControlView.exe和HostViewApp.exe软件，分别对应的场景是设备端、PLC连接器和主机EAP端模拟。

3. GEM300用户

额外提供EquipViewApp300.exe和HostViewApp300.exe测试软件，分别对应的GEM300设备端和主机EAP端模拟。

5.2 模拟软件展示

1. 设备端模拟软件EquipViewApp

5. 其他软件

数据重置软件ResetTool.exe，在重大更新软件时候，首先运行一次软件即可
后台服务进程JNG_Server.exe

5.3 其他文件介绍

SecsConfig 文件夹中主要的文件
1. GUID.txt为设备资料。（无许可时运行一次JNG_Server.exe时候即可生成GUID.txt）
2. licenses.ini 为运行许可，如果该文件缺少或者到期，将无法运行金南瓜SDK软件
3. 配置文件：
PlcSecsData文件夹为PLC的配置档，保存客户与PLC通讯的各类数据。

6. 开发环境

6.1 编程语言

主流语言 C、C++、C#、Labview

6.2 运行环境

Windows XP SP3

windows 7

windows 10

6.3 开发工具

LabVIEW、VC6.0、QT、Visual Studio 2008及以上

6.4 硬件环境

硬件：

PC工控机

接口：

RJ45或者光纤以太网网口 1个

6.5 运行许可

运行许可与设备主机MAC地址绑定

更换硬盘、内存条、光驱及操作系统等不影响许可证问题

1. 加密狗方式：

将加密狗插入USB接口即可

2. 文件许可方式：

运行“licenseClient.exe”生成GUID
将生成的GUID.txt发送给厂商
运行 “licenseClient.exe” 将license写入设备中。

性能

项目	参数
系统	Window XP、7、10、Server 2008、Server 2012、Server 2016
CPU处理器	任意英特尔处理器嵌入式低至Atom3930（可运行在倍福PLC）
内存	2GB及以上
硬盘	32GB及以上
接口	1个网口

金南瓜配套模块

项目	参数
系统	Window 7/10专业版
CPU处理器	J1900
内存	英睿达/三星8GB
硬盘	三星/英特尔250/500GB
接口	5个R232、1个485/422/232、7个USB2.0、1个USB3.0、1个HDMI、1个VGA
网口	2个
尺寸	200×200×69mm
重量	1.8KG
环境	适用温度 -20-60℃
EMC	CE/FCC, CCC, BSMI
安全	CCC, UL, BSMI
输入电压	DC 12V

金南瓜的 PLC SECS 产品为将 SECS/GEM 添加到 PLC 提供了快速的解决方案。PLC SECS通讯器提供了一个图形用户界面，您可以在其中映射 PLC 地址，点击保存运行，SECS/GEM 解决就添加完成了。

项目示例，直接从 PLC SECS 构建和部署

点胶设备：Siemes S7 1500(modbus)

晶圆清洗机：Omron CJ (FINS)

掩模清洗机： Seimes S7 1500(modbus)

PCB板搬送设备 • Melsec Q (MX)

Lam CVD设备sensor采集：自定义协议

简单的解决方案可在俩三天内轻松完成。

在PLC SECS 编辑器中，您只需变量配置窗口定义变量，通过设备PLC数据地址将它们链接到 PLC。

您只需要做一个数据列表映射，它包含您希望提供给主机 (VID) 的变量列表、警报 (ALID) 和事件 (CEID) 列表。

如果您不太熟悉 SECS/GEM，那么 VID 是您允许主机读取的数据，而 ALID 是设备警报，CEID 是“收集事件”，设备发生的标志性动作，如开始、停止、上料等动作。

通常最重要的数据这些与批次完整性、装载批次、卸载批次、批次开始、批次结束和工艺程序（配方）更改有关。在处理批次时提供事件也很有用，从站到站移动，门打开/关闭等。

版本区别

功能	SECS Driver	SECS/GEM基础版	SECS/GEM高级版
HSMS连接	√	√	√
SECS自定义SxFy消息	√	√	√
状态反馈	√	√	√
HSMS状态管理	√	√	√
自动断线重连	√	√	√
超时处理	√	√	√
State Models		√	√
Equipment Processing States		√	√
Host Initiated S1F13/F14 Scenario		√	√
Event Notification		√	√
On-Line Identification		√	√
Error Messages		√	√
Documentation		√	√
Control (Operator Initiated)		√	√
Establish Communications		√	√
Dynamic Event Report Configuration		√	√
Data Variable and Collection Event Namelist Requests		√	√
Variable Data Collection		√	√
Trace Data Collection		√	√
Status Data Collection		√	√
Alarm Management		√	√
Remote Control		√	√
Equipment Constants		√	√
Process Program Management		√	√
Material Movement		√	√
Equipment Terminal Services		√	√
Clock		√	√
Limits Monitoring		√	√
Spooling		√	√
Control (Equipment-Initiated)		√	√

功能清单

GEM COMPLIANCE STATEMENT
FUNDAMENTAL GEM REQUIREMENTS	MPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
State Models	■Yes □No	■Yes □No
Equipment Processing States	■Yes □No
Host Initiated S1F13/F14 Scenario	■Yes □No
Event Notification	■Yes □No
On-Line Identification	■Yes □No
Error Messages	■Yes □No	■Yes □No
Documentation	■Yes □No
Control (Operator Initiated)	■Yes □No
ADDITIONAL CAPABILITIES	IMPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
Establish Communications	■Yes □No	■Yes □No
Dynamic Event Report Configuration	■Yes □No	■Yes □No
Data Variable and Collection Event Namelist Requests	■Yes □No	■Yes □No
Variable Data Collection	■Yes □No	■Yes □No
Trace Data Collection	■Yes □No	■Yes □No
Status Data Collection	■Yes □No	■Yes □No
Alarm Management	■Yes □No	■Yes □No
Remote Control	■Yes □No	■Yes □No
Equipment Constants	■Yes □No	■Yes □No
Process Program Management	■Yes □No	■Yes □No
Material Movement	■Yes □No	■Yes □No
Equipment Terminal Services	■Yes □No	■Yes □No
Clock	■Yes □No	■Yes □No
Limits Monitoring	■Yes □No	■Yes □No
Spooling	□Yes ■No	□Yes ■No
Control (Equipment-Initiated)	■Yes □No	■Yes □No

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