通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜

通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜
电子显微镜是一种通过阴极钨丝发射电子，经过汇聚透镜把电子束聚集到检测物标本上，检测物样本放在火棉胶薄片上面，电子束被检测物样本薄片吸收，产生电势不同的图像，就像光线投射在物体上面产生阴影一样，这时电子束就形成了检测物样本的图像。再经过磁力透镜将电子束放大后，电子束照射在涂满PN节的摄像管上面，这个摄像管就会形成检测物的图像。并把这个图像传递给摄像机和电视机，最终显示出来。
电子显微镜的原理如下图

摄像管的原理图如下
电子照射到摄像管玻璃上，薄玻璃后面是一层薄硅单晶，可以使四氯化硅和氢气加热到1400摄氏度，反应得到硅单晶，也可以将硅烷加热到1000摄氏度得到硅单晶。再给这层薄硅单晶掺杂形成P型半导体。可以在反应中加入用氢气稀释了1000倍的三氢化磷形成N型半导体，可以在反应中加入用氢气稀释了1000倍的六氢化二硼形成P型半导体。再把这层P型半导体放到氧气中形成一层硅单晶，再在硅单晶表面喷涂一层柯达光致抗蚀剂，在用棋盘状网格塑料掩膜遮挡这层柯达光致抗蚀剂，可以用光学镜头将30分米长30分米宽的棋盘状网格塑料掩膜的影子缩小为30厘米长30厘米宽。然后在暗室中用高压水银灯曝光数分钟。把硅片放入显影液或三氯代乙烯中，再用乙醇或二甲苯洗涤，这样未感光的部分就被出去，达到显影的目的。为使柯达光致抗蚀剂膜粘附硬化，需在177-200摄氏度下烘烤15-30分钟。对于二氧化硅可以采用氟化氨加氟化氢加水作为腐蚀液。对于硅可以采用氟化氢加硝酸加双氧水作为腐蚀液，没有被抗蚀剂覆盖的硅就被除去。最后除去感光膜，可以将硅片在硫酸中煮沸，或在300摄氏度的氧气中加热，再用机械方法除去，可以用砂纸打磨。然后将裸露出来的棋盘方块状硅单晶掺杂形成N半导体。这样摄像管的硅靶材就做好了。当摄像管的电子束扫描棋盘方块状N型半导体时，两外一面从电子显微镜发射出来的电子图像照射到薄片状P型半导体时，由于N型半导体上的小方块彼此分开，相互绝缘，电子只有通过P型半导体传递，这就会在P型半导体上面产生一个电子显微镜的图像信号，然后这个图像信号在送给摄像机和电视机，人们就可以得到电子显微镜的图像。
柯达光致抗蚀剂的主要成分有桂皮酸，聚乙烯醇反应形成的酯，调节粘度用的三氯代乙烯，醋酸甲基甘醇以及作为敏化剂的环烷酮。如果用高能光照射如紫外线，则酯及聚合硬化，不受一般腐蚀液的侵蚀。摄像管电路下载地址
https://share.weiyun.com/ElSePTXg
链接：https://pan.baidu.com/s/1IHlSF0jw8STx6f7gH6BQnQ ;
提取码：d76r
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