气体质量流量控制器（MFC）

气体质量流量控制器（MFC）是对气体进行流速测量和控制的一种设备。

主要技术指标

出厂通常用氮气标定
SCCM（标准毫升/分） SLM（标准升/分）
F.S（Full Scale）满量程值
SLPM（标准升/分）

气路接头形式

很关键的一点时，螺母和接头之间有两个小东西，称为卡套。他们是用来做气密性的。

显示数据类型

包括但不限于以下数据：

瞬时流量
累计流量
流量系数（系数的更改可以使国产流量计的精度，接近进口流量计的精度）
流量零点设置
温度

注意事项

如果气体不干净，有粉尘、液体和油污时，记得加装过滤器
安装时最好保持安装面水平
气体标定默认是安装氮气进行标定的

其它

一台MFC的价格高达6000，用在气体采样设备里，实在是太贵了。在确定流速后（如：250ml/min），我们将会采用不锈钢管自制定量环，价格便宜，也适用。类似下图中的形式。

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