MIM,MOM和MOS电容的区别
ic layout经常会遇到这三种电容: MOS, MOM , MIM
MOS 电容:两端结构的mos管,电容值不精确,可以实现随控制电压变化而变 化的容值,上下极板接法不可互换。
MOM 电容:finger 插指电容,即利用同层metal边沿之间的C。为了省面积,可以多层metal叠加,PDK中metal层数可以选择。一般只在多层金属的先进制程上使用,因为是通过多层布线的版图来实现的,但得到的电容值确定性和稳定性不如MIM,一般可能会用在那种对电容值要求不高,只是用到相对比值之类的应用。上下极板接法可互换。
MIM 电容 : 类似于平板电容,电容值较精确,电容值不会随偏压变化而变化,一般制程上用mTOP l & mTOP -1 来做,电容值可以用上级板面积*单位容值来进行估算,上下极板接法不可互换,一般用于analog,RF工艺。
相同面积的三个电容,电容值 MIM<MOM,MIM约是1/3 MOS电容值.
MOM电容优势在于不需要额外mask,MIM需要额外mask和工艺才能实现。
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