简介

MEMS中会涉及到一些较为复杂的结构，通常我们可在solidworks等专业的3D模型绘制软件中设计好结构，再输出到ansys中进行仿真，这是因为solidworks的建模能力更强(支持旋转、镜像、阵列等很多功能)。

结构仿真完成后，需要生成最终的版图文件用于制版流片。其中tanner ledit是windows下最常用的版图绘制软件之一，但是其自带的绘制工具很拉跨，像镜像、绕点旋转、阵列等很多功能都不好用甚至不支持。

毕竟是一款专注于版图绘制的软件，图形编辑、建模能力不如solidworks等专业的建模软件，也可以理解。理解归理解，但画版图时痛苦的是自己。那么问题怎么解决呢：

ledit 支持macro来绘制一些复杂图形。
solidworks 模型文件转换后间接导出到tanner ledit中。

macro可以参看知乎《如何用Ledit画复杂图形版图》，https://zhuanlan.zhihu.com/p/101565795，不再多说。本文着重描述第二种方式。

这种方式带来的优势：
········大大减少工作量，主体文件只需要点点点导入即可，不用一点点的在ledit中画。
········solidworks 支持的绘图工具非常多，如圆周阵列、镜像对称等，非常方便。
········solidworks 支持宏参数的设置，这样非常有利于后期的结构参数调整。

潜在的劣势：
········转换的文件存在一定程度的精度损失问题

操作

1. 文件格式问题

打开ledit (v15)，可以看到其仅支持4种文件导入，
GDSII – 标准的版图文件格式
CIF – 不认识
DXF – 常见的结构文件，如PCB板框文件
Gerber – 光绘文件格式，如allegro等PCB软件最终生成的都是gerber文件

另一边，solidworks(v2018) 支持的格式如下。

关键信息是：两边仅有一个dxf文件是同时支持的。那么是不是SW直接导出DXF文件给LEDIT就行了？

2. SW直接导出DXF文件到LEDIT的问题

先看如示例模型，环直径d=1000um左右，厚度h=50um，T型梁的长在100um。

这个结构很简单，中间一个环，外围16个T型梁，SW支持绕点旋转复制功能，因此只需要画一个梁，然后绕Z轴16次旋转22.5°并复制后合并即可；但是我手里的LEDIT只支持图形绕本身几何中心旋转，不支持绕点旋转（可能不同版本支持该功能，但ledit的绘图能力相比SW等专业软件总是有限的，总有些是不支持的）。

接下来，SW直接导出dxf文件，如下：

然后，导入到 ledit 中：

查看属性，可以发现，周围的那些都只是wire，而不是我们想要的polygons，而这些看似闭合的wire，在Ledit中是无法进行填充成块的，永远只能是wire。

造成这种现象的原因是：
······SW输出dxf文件时，选中的面是多个分离实体的面，导致dxf边框混乱。
正确的做法是先将这些分散的实体，组合成一个：

然后再输出dxf文件：

最后，导入Ledit中时，可见周围的wire消失了，变成了填充块：

实际上是两个块，一个Polygons ，一个 Circles：

3.布尔操作，得到所需版图

LEDIT中支持多种布尔操作，全选中图形后（shift + 左键复选），即可操作：

如下图所示：

操作结果所在的layer，可以自行选在active、poly等层，层也可以最后在属性中进行修改，我这里选poly。
操作类型，我们选A-B，会有提示框显示A和B分别是哪个，这里保证大减小，否则会全减没的。
勾选只保留结果。

最后，结果如下：

注意事项

在微纳尺度下，solidworks的默认精度似乎比较有限，所以可以手动把SW的精度拉满后再输出：
·······在SW的工具–选项–文档属性下，首先是单位，根据需求选um,nm，然后小数位数直接拉满

··········然后是尺寸中的精度，全部拉到最高精度，涉及到圆环的特别要把角度相关精度拉到最大，否则最后输出多边形。
·········最后，也可以把图像品质中的显示精度拉到最高，尽管不影响实际文件输出精度，但是影响观感。

补充 22/2/6

关于文件格式问题，有一个LinkCAD的小软件，可以支持常用cad图格式到版图格式的转换：

实不相瞒，最初没有发现SW输出dxf需要合并成一个实体时，输出文件的边框线就是有问题，但是我用linkcad可以将那些分离的边线自动修复，并正确输出GDSII文件。

但是linkcad要钱，但是有几天试用期，且破解版都有；如果SW等直接输出的dxf等文件实在是有问题，不妨试试用linkcad转换成GDSII格式后再导入Ledit进行合并、布尔操作等。

这个linkcad使用时，特别注意转换精度设置，尤其是角度精度选项，um尺寸下，我喜欢角度用nm分辨率，但总的来说我用得不是很熟，只是能满足我的需求就没再弄了。

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