silvaco学习笔记—— Automatic Meshing
Automatic Meshing(自动网格)特别适用于外延结构,特别是具有多层结构的器件结构。它是通过在REGION语句中指定Y网格线的位置来实现。如:
MESH AUTO
X.MESH LOCATION=-1.0 SPACING=0.1
X.MESH LOCATION=1.0 SPACING=0.1
上述代码并没有指定Y方向的网格,它是通过下列语句来实现Y方向的网格:
REGION TOP THICKNESS=0.02 MATERIAL=GaN NY=5 DONOR=1E16
REGION BOTTOM THICKNESS=0.1 MATERIAL=AlGaN NY=5 DONOR=1E17 X.COMP=0.2
REGION TOP THICKNESS=0.08 MATERIAL=AlGaN NY=4 ACCEPTOR=1E17 X.COMP=0.2
REGION BOTTOM THICKNESS=0.5 MATERIAL=AlGaN NY=10 DONOR=1E18 X.COMP=0.2
注意:
1.TOP与BOTTOM的使用。 TOP 与BOTTOM在没有定义之前都等于0,当在region中使用后,其值将发生变化,TOP=TOP-THICKNESS(因为Y轴的方向向下,故TOP要取负值),如在第一个region之后 ,TOP=0-0.02=-0.02; 在第二个region之后 BOTTOM=0+0.1=0.1;后面的以此类推。
2. NY与thickness。NY指的是该语句中Y方向的网格数目,THICKNESS指的是该区域的厚度。它们与SY的关系为SY = THICKNESS/NY。
上面四句语句的效果用图形来表示它们的效果如下:
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