应变界的翘楚：硅基谐振式传感器灵敏度非常高

应变传感器又称应变计（strain gauge）是一种常用的传感器，它利用了弹性材料（金属、合金、半导体或者金属陶瓷）的压阻特性来检测被测结构的正应变与剪切应变，它广泛应用于结构健康监测中，覆盖的应用领域包括土木工程、机械、航天、医疗以及可穿戴系统等。

相比于传统的应变片，硅基谐振式应变传感器具有灵敏度高、温漂小、准数字化输出、抗干扰能力强等特点，是一类高性能的应变传感器。

硅基谐振式应变传感器一般采用双端固支音叉结构（Double Ended Tuning Fork，DETF）的谐振式传感器。通过将两根双端固支梁并联，并使两根梁的振动反相，形成音叉结构，来获得较高的品质因数（Q值）。

目前，硅基谐振式应变传感器的主要问题在于，硅微机械结构受空气阻尼的影响较大，在常压下难以获得较高的Q值，必须采用真空封装，而目前较成熟的微机械真空封装技术一般需要超过400度的高温工艺或者需要使用低渗透率的封装材料并结合吸气剂，这两类工艺与硅基谐振式应变传感结构的兼容性较差。

日本横河电机株式会社研制的高精度谐振式压力传感器中采用了一种H型谐振式应变敏感结构。该结构采用均质的H型梁，通过电磁驱动使H型梁的4个臂振动，通过电磁检测振动频率随应力的变化。由于该结构为均质硅结构，没有金属引线，可以采用高温的硅外延工艺实现真空封装。但是，该结构必须采用电磁驱动、电磁检测，当用作应变传感器时，电磁铁的封装难度大。

应变界的翘楚：硅基谐振式传感器灵敏度非常高相关推荐

物联网传感技术——谐振式传感器
谐振式传感器基于机械谐振技术,以谐振元件作为敏感元件而实现测量的传感器称为谐振式传感器.谐振式传感器自身为周期信号输出(准数字信号),只用简单的数字电路即可转换为易与微处理器接口的数字信号,同时其重 ...
数据图表与分析图_堆积图表界的翘楚！河流图如何搞定“巨量”数据
继旭日图.漏斗图.饼图之后,我们又迎来一个 "象形"图表--河流图.虽然河流图是从堆积面积图演变而来,读图的原理也相同,但是在面对较大体量的数据时,河流图还是略胜一筹! 从折线图到 ...
VM704S振弦式传感器读数模块岩土工程地质灾害监测
VM704S系列模块是多振弦式传感器激励. 频率读取. 温度转换的专业化读数模块,具有集成度高. 体积小.精度高.适应能力强.极少的外围电路设计等突出性,具有多种激励方法.传感器接入检测.可编程激励电 ...
振弦式传感器VM608振弦读数模块应用地质灾害监测二次开发
VM608系列模块是多振弦式传感器激励. 频率读取. 温度转换的专业化读数模块,具有集成度高. 体积小.精度高.适应能力强.极少的外围电路设计等突出特性,具有多种激励方法.传感器接入检测.可编程激励电 ...
福利 | 与院士和业界翘楚共话智能无人系统！
2017年11月5日智能无人系统交叉领域博士生学术论坛学界大咖.行业翘楚.科研达人带您走向智能无人系统的最前沿院士.高管.投资人.优秀学子跨界对话带您领略见所未见的新风景数据派作为活动协办 ...
Web前端工程师，互联网行业，炙手可热的翘楚！
对互联网熟悉的小伙伴应该都清楚,前端工程师真的很缺,不管是新企业还是上市公司.据统计,国外的前端开发人员和后端开发人员比例约1:1,但是在国内比例却在1:3以下,Web前端开发职位人才缺口巨大.前端工 ...
华为云官网负责人明哥：我们是如何做到门面不倒，8个月挑战业界翘楚？
本文分享自华为云社区<华为云官网负责人明哥:我们是如何做到门面不倒,8个月挑战业界翘楚?>,原文作者:华为云社区精选 . 4月的一个周五傍晚,刚刚结束一场语音会议的明哥,拿起桌上的咖啡,一 ...
传感器课程实验：传感器静态特性研究-应变式传感器
传感器静态特性研究-应变式传感器骆苏-一只小垃圾一.实验目的与任务掌握应变式传感器的工作原理. 掌握单臂测量电路.半桥测量电路.全桥测量电路的工作原理与优缺点,比较其输出特性. 了解温度对应变片 ...
Udesk作为国内SaaS客户服务领域的翘楚，将对标海外巨头Oracle丨Xtecher 封面
Udesk作为国内SaaS客户服务领域的翘楚,目前拥有2000+以上的客户,具备自我造血的能力.根据规划,2018年将实现上亿元的营收,并实现营收平衡,明年将实现盈利.它如何做到的呢? 它的核心竞争力 ...

应变界的翘楚：硅基谐振式传感器灵敏度非常高

应变界的翘楚：硅基谐振式传感器灵敏度非常高相关推荐

最新文章

热门文章