1、灵敏度误差:取决于核心敏感器件的自身特性,但同时与频率响应有关,也称幅频特性。经过实际验证,对精度影响很小,可以忽略不计。
2、零点偏置:取决于核心敏感器件的自身特性,是指传感器在绝对水平面上,传感器测量输出不为零,该实际输出角度值称为零点偏置。这个数值越大,传感器精度越低。
3、非线性:可以通过后续校正,取决于校正点的多少,矫正点越多,非线性越好。
4、横轴误差:是指当传感器垂直于其灵敏轴方向施加一定的加速度或者倾斜一定的角度时耦合到传感器的输出信号上所产生的误差。例如,对于测量范围为±90°的单(X)轴倾角传感器而言,在垂直于X方向发生5°的倾斜时,传感器的输出信号会因为这个5°的倾斜而产生额外误差,这个误差称为横轴误差。当倾角传感器的横轴误差为1%FS(%FS指精度和满量程的百分比),此时产生的额外误差为1%FS×90°=0.9°,所以X(实际值)=X(绝对值)+0.9°。横轴误差取决于产品性能。在工业运用中,横轴误差必须消除,否则将会引起很大的测量误差。
5、重复测量精度:取决于核心敏感器件的自身特性,不能通过后续修正措施来提高。
6、温漂:受温度影响半导体元器件会发生一些参数上的变化,会影响到传感器的测量精度和可靠性。人为的可通过算法、多个校准点的选取等手段进行消除,以提高传感器的测量精度以及稳定性。
7、安装误差:a:传感器的安装面与被测量面固定必须紧密、稳定,如果安装面出现不平容易造成传感器的夹角误差;b:传感器的轴线与被测量轴线必须平行,两轴线必须平行,否则容易产生横轴误差。安装方式如下:

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