材料的显微分析能获得材料的组织结构,揭示材料基本性质和基本规律,在材料测试技术中占重要的一环。对各种显微分析设备诸如SEM、TEM、AFM、STM等,各位材料届的小伙伴一定不会陌生。今天小编整理了关于扫描电镜SEM的基本构造来分享给大家。

扫描电子显微镜(SEM)

扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。它是当今十分有用的科学研究仪器。

扫描电子显微镜基本构造

扫描电镜结构图

组成部件:电子枪、电子透镜、扫描系统、电子收集系统(形貌分析)、成像荧光屏、X射线接收系统(成分分析)

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