日本电子株式会社:推出新型肖特基场发射(FE)扫描电子显微镜JSM-F100
―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),兼具高分辨率和强大的可操作性―
东京--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(总裁兼首席运营官:大井泉)宣布,将于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。
本新闻稿包含多媒体。此处查看新闻稿全文: https://www.businesswire.com/news/home/20190804005012/zh-CN/
https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html
背景
扫描电子显微镜(SEM)应用于不同的领域:纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大,SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。
JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和"Neo Engine"(电子光学控制系统),以及全新的GUI "SEM Center"和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能(LIVE-AI)滤镜”,实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外,标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合于"SEM Center"内,可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上,实现了生产量的显著提高。
特性
- 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流,支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。 - 混合式透镜(HL)
混合式透镜(HL)将静电场镜和磁场透镜相结合,支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。 - Neo Engine(新型电子光学引擎)
Neo Engine是一款先进的电子光学控制系统,可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。 - "SEM Center"新功能
全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析,提供借助FE-SEM实现的下一代可操作性和高分辨率图像。 - "Zeromag"新功能
整合的"Zeromag"可实现从光学成像到SEM成像的无缝过渡,让定位目标样品区域变得十分轻松。 - 全新LIVE-AI滤镜*
通过利用人工智能(AI)功能,整合的LIVE-AI滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同,这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像,无残留图像,对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
*选配
规格 |
|
分辨率(1 kV) |
1.3纳米 |
分辨率(20 kV) |
0.9纳米 |
加速电压 |
0.01至30 kV |
标准检测器 |
高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED) |
电子枪 |
浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
探头电流 |
几pA至300 nA (30 kV) |
物镜 |
混合式透镜(HL) |
样品台 |
全优中心(eucentric)测角仪样品台 |
样品移动 |
X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米 |
EDS检测器 |
能量分辨率:133 eV或更低 |
目标年销量
60台/年
日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,总裁兼首席运营官
(股票代码:6951,东京证券交易所第一部)
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