集成电路(芯片)在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,它是具有战略地位的产品和技术,自从前段时间爆发出“中兴事件”以来,众多中国人才真正开始意识到了芯片的重要性,同时也知道了原来我们国家的芯片行业有多么的脆弱。

以制造为主的芯片下游,是我国集成电路产业最薄弱的环节。由于工艺复杂,芯片制造涉及到从学界到产业界在材料、工程、物理、化学、光学等方面的长期积累,这些短板短期内难以补足。以往只要在整体产值上领先就可以称之为芯片强国,不过如今游戏规则已经改变,光是产值已经没有用,在每一个环节都有拥有优势才能立于不败之地。

在微电子行业的芯片生产过程中,对微粒的控制要达到分子级,否则生产就无法进行,或者生产出次品;在抗菌素的生产环境中,如果存在某些微生物,生产就不能正常进行。为了减少室内污染对生产过程的影响,就必须通过洁净技术来改善或解决室内污染问题。可以肯定,在普通的生产车间想要控制整个微环境的悬浮粒子浓度,使其达到工艺要求的洁净程度是完全不可能的。

只有建造洁净室,采用密闭的结构,合理的气流组织及合理的压差,才能使其微环境内达到所要求的空气洁净度,满足生产要求。无尘室对生产过程产生重要影响室内生产环境是制约工业生产,特别是高科技生产能否进行的关键因素之一;洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切相关。由于精密机械行业的环境要求(如陀螺仪、微型轴承)、半导体行业(如大规模集成电路生产),洁净室技术的发展得到了推动。

无尘车间即无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在

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