半导体车间专用在线式粒子计数器工作原理以及应用领域

在医药、电子、精密机械微生物等行业中，需要严把半导体车间环境的洁净度以符合相关的标准和产品的质量，其中包括对各种洁净等级的工作台、净化室、净化车间的净化效果、洁净级别进行监控与检测。深圳赛纳威RPC系列在线式粒子计数器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器，从而为空气洁净度的评定提供依据。下面我们具体来了解一下这款产品的基本工作原理及应用领域！

CW-RPC300远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备，可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，并能根据不同需要增加或减少控制终端，实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

深圳赛纳威RPC系列在线式粒子计数器的工作原理

粒子计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器，光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光，使粒子发射出散射光，经过聚光透镜投射到光电倍增管上，将光脉冲变为电脉冲，由脉冲数求得颗粒数。

根据粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子计数器的基本原理。事实上，每一个粒子产生的散射光强度长短常弱的，它是一个非常小的光脉冲，必需要通过光电转换器的放大作用，然后把光脉冲转化为信号幅度较大的电脉冲，再由电子线路的进一步放大和甄别，这样来完成对大量电脉冲的计数能力。此时，电脉冲数目对应于微粒的数目，电脉冲的幅度对应于微粒的体积。

案例分析：

微粒，特别是尘粒的存在直接影响药品质量，危及人们的生命安全。大量临床资料表明，如药品被0.7～2um的尘粒污染，尤其是静脉注射用药，可以导致热源反应、肺动脉炎、微血栓或异物肉芽肿等，严重的会致人死命。粒子进入血管系统对人体的危害，与粒子数量、粒径及理化性质有关。另外，微生物的污染是生产环境最重要的因素，它与最终的产品微生物负载控制相关。

研究表明，单一微生物本身并不能独立空气当中，他们要么以菌团形式存在，要么必须附着于无活性的尘埃粒子(尤其是直径大于0.5μm的粒子)之上。这也就将空气中微生物水平同尘埃粒子水平联系在了一起。洁净室的各种硬件系统控制了空气中悬浮粒子的数目，从而也就降低了空气中微生物的污染。因此GMP规定应对洁净区的尘埃粒子进行有效的监测。

空气洁净度是指洁净环境中空气含尘（微粒）多少的程度。含尘浓度高则洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。新版GMP将无菌药品生产所需的洁净区分为4个级别，生产企业不仅要对洁净室的级别进行确认，还要对洁净区进行监测。尘埃粒子测试状态有静态和动态两种，静态测试是在空气净化系统处于正常运行状态，工艺设备已安装，且洁净室内无生产操作人员情况下进行。动态测试是在洁净室处于正常生产状态下进行。

中国GMP对于各级别空气悬浮粒子的标准规定如下表：

中国GMP对于各级别空气悬浮粒子的标准

有必要说的是，固然仪器被称之为"计数器"，但是仪器辨别微粒体积的本领更为重要。因为电脉冲的计数很简洁，而判定粒子的体积非常重要，因此尘埃粒子计数器在各省市药检所、血液中央、防疫站、疾控中央、质量监视所等权势巨子机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、病院、环保、检修所等出产企业和科研部分就显得尤为重要了。

目前，用于洁净环境中空气尘埃粒子监测的仪器多为光散射粒子计数器。深圳赛纳威RPC系列在线式粒子计数器能实时准确地测量所在环境的微粒数量和分布，并进行各种测量参数设定，如自动实时显示，粒径选择，定时、延时和重复测量，平均测量。时间和日期设定、数据存储和打印、计数超限报警等功能均由内置微机控制和实现，可监测激光粒子传感器的工作状态。

RPC系列在线式粒子计数器有测试精度高、性能稳定、多功能性强等特点，它是质量监督所等权威检验机构、超大规模集成电路超净车间(室)、电子行业、医疗卫生、食品加工、光学或精密机械等生产企业及航空航天等科研部门检测净化环境、无尘室洁净级别的理想仪器。

使用粒子计数器的注意事项

1、当入口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪
2、激光尘埃粒子计数器应该在洁净环境下使用，以防止对激光传感器的损伤
3、不要测有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气）。这此气体也可能在计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。
4、没有高压减压设备（如高压扩散器）不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪被设计用于在一个大气压下操作。
5、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。
6、颗粒计数仪主要用来测试净化车间干净的环境，当测的地方有松散颗粒的材质，灰尘源，喷雾处时，须最少保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。
7、取样时，僻免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。
8、在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时，需先关掉计数器；当执行打印操作时，打印机上须有打印纸，否则会损伤打印头。

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