碳化硅MOSFET制造后炉前清洗的湿处理
引言
碳化硅(SiC)器件制造技术与硅制造有许多相似之处,但识别材料差异是否会影响清洗能力对于这个不断发展的领域很有意义。材料参数差异包括扩散系数、表面能和化学键强度,所有这些都可以在清洁关键表面方面发挥作用。这项工作将100毫米或150毫米4H碳化硅晶片经过汞探针电容电压(MCV)绘图后的痕量表面污染水平与后续清洗后的水平进行了比较。在MCV期间,痕量金属如汞、铁和镍被可控地添加,并且显示出多种清洁方法可以将碳化硅表面恢复到低于5x1010原子/cm2的清洁度水平。讨论了这些清洗在集成器件工艺流程中的位置以及成本比较。
实验与讨论
汞探针CV (MCV)、TXRF和清洁实验
为了可控地将污染物引入碳化硅表面,并测试清洗能力,在赛美拉布MCV-530测试仪中对100毫米和150毫米超低微管密度外延碳化硅晶片进行汞探测,使用TXRF测量痕量金属污染物,用各种不同的清洗化学物质清洗晶片,并再次分析清洗后的晶片中的痕量杂质。使用多种多重测量模式进行MCV测量,例如半径扫描、晶片测绘和在同一位置多次测量,这使得第一次TXRF测量能够比较未污染区域和污染区域,后清洁TXRF能够比较预清洁状态。
图1。本研究中使用的一些模式的布局图;150毫米碳化硅晶片和大约10毫米直径的TXRF位置在两种情况下都显示(100毫米碳化硅晶片的实验模式未显示)。左:MCV 10点半径扫描(~1.7毫米直径测量点)允许5点TXRF测量来分析受汞污染的区域和未受汞污染的区域。右图:在200毫米TXRF基座上显示的150毫米4H碳化硅晶片上的165点TXRF测量。
MCV、预清洁TXRF和后清洁TXRF结果
所有的清洗都被证明能有效地去除某种程度的金属杂
碳化硅MOSFET制造后炉前清洗的湿处理相关推荐
- 《炬丰科技-半导体工艺》电化学行为后的蚀刻清洗
书籍:<炬丰科技-半导体工艺> 文章:电化学行为后的蚀刻清洗 编号:JFKJ-21-452 作者:炬丰科技 摘要 清洁是在 32 nm 及以下技术的微电子设备中集成自对准势垒 (SAB) ...
- 数组-合并两个有序数组(双指针,从后往前)
题意: 给你两个有序整数数组 nums1 和 nums2,请你将 nums2 合并到 nums1 中,使 nums1 成为一个有序数组. 说明: 初始化 nums1 和 nums2 的元素数量分别为 ...
- 100米队伍,从队伍后到前_我们的队伍
100米队伍,从队伍后到前 The last twelve months have brought us a presidential impeachment trial, the coronavir ...
- 项目使用ts辅助_启动辅助项目后的前100天该做什么
项目使用ts辅助 by Tigran Hakobyan 由Tigran Hakobyan 启动辅助项目后的前100天该做什么 (What to do in the first 100 days aft ...
- oracle 从后往前,oracle从后往前截取字符串 oracle截取字符串后三位
oracle怎么从后开始截取字符? 1.在oracle中经常需要使用到截取字符串函数substr.语法:substr(str,num1,[num2]) 默认情况下都是只需要两个参数,它的意思是从第二个 ...
- 数字从后往前每三位加个逗号
数字从后往前每三位加个逗号 // 数字从后往前每三位加个逗号(不足补零)NumberFilter(num) {let n = (Array(8).join(0) + num).slice(-8)let ...
- 捐赠10亿美元后,前首富陈天桥的人脑研究出成果了!这一技术成未来AI最大风口…
作者:夏弢 中国前首富陈天桥的脑研究出新成果了. 6月24日,一篇署名陈氏研究院两位学者的论文发表在了<神经元>(Neuron )杂志上.该论文基于大量实验指出:在斑马鱼和老鼠实验中,血清 ...
- 碳化硅MOSFET、硅MOSFET及IGBT的优缺对比
碳化硅MOSFET.硅MOSFET及IGBT的优缺对比 1:高工作频率:传统MOSFET工作频率在60KHZ左右,而碳化硅MOSFET在1MHZ 用途:高频工作,可以减小电源系统中电容以及电感或变压器 ...
- 2022-7-15 Leetcode 151.颠倒字符串中的单词 —— 【从后往前分割】
直接从后往前分割,看起来简洁不少. class Solution {public:string reverseWords(string s) {int i = s.size()-1;string an ...
最新文章
- 关于学习Python的一点学习总结(36->基本序列和映射协议)
- Warning: Using a password on the command line interface can be insecure.解决办法
- Java中用ClassLoader载入各种资源(类、文件、web资源)的方法
- K-均值对地图上的点进行聚类(2)
- 如何在64位的Linux中运行32位的应用程序
- 数据结构与算法 | 链表
- 打开DataGrip显示Load Data Ctrl+F5解决方案
- php中时间轴开发,即显示为“刚刚”、“5分钟前”、“昨天10:23”等
- .NET 云原生架构师训练营(模块二 基础巩固 依赖注入)--学习笔记
- Spring AOP 的日志管理实现
- 游族辟谣公司内斗CEO被投毒住院,警方通报带来光速反转?
- Linux下后台任务管理screen的常见用法(命令)
- mysql 启动服务错误
- JFinal 源码导读第四天(3) initRender
- Map 转 json格式 保留null值的解决办法
- 关闭OpenSSH UseDNS选项加速SSH登录
- VM12 虚拟机使用桥接模式却连不上网的解决办法
- 微信小程序样式Flex Box精通课程-Flex容器的属性-justify-content内容对齐(左中右)
- C++ Primer Plus P31 编程练习(调用一个用户自定义的函数(以光年值为参数,并返回对应天文单位的值)——中职
- 解决Win10桌面和任务栏图标闪烁的问题