~~~0926~~~更新

MOS管的介绍也是为后面“CMOS集成电路”埋下伏笔。

【简单了解】

  • MOS结构:Metal-SiO2-Si是绝缘栅场效应管的代表结构,是学习MOS场效应器件的基础,也是研究半导体表面特性最有用的器件之一,而且在集成电路中还可以作为存储电容器和电荷耦合器件(CCD)的基本组成部分。通过调节栅电压可以实现积累耗尽反型三种状态,结构如下图:
Fig. 1 MOS结构的三种状态;MOS结构三种状态的能带图
  • MOS器件的发明(1960年,Kahng和Atalla,集成电路发展重要事件之四)

1959年,Atallat提出用硅片上热生长SiO2层作为栅绝缘层
1960年,贝尔实验室的Kahng 和Atalla制备出第一支MOS场效应晶体管。
1963年,Wanlass和Sah发明了CMOS
1967年,A.Sgrove,C.T.Sah,E.H.Snow, B.E.Deal等合作,基本厘清Si-SiO2系统的四个电荷的性质

Fig.2 nMOS示意图
  1. p-Si:P型掺杂硅衬底;
  2. 源极或漏极:n+,N型阱
  3. 栅极:多为多晶硅,下层生长了一层薄SiO2实现栅极与源漏极绝缘。
  4. L: 沟道长度;W:沟道宽度
  • MOS管的结构和工作原理
Fig.3 nMOS和pMOS

n型晶体管(nMOS)与p型晶体管(pMOS)
栅:控制输入

  1. 在nMOS中,当栅压足够高时电子数目将超过空穴,因而栅下方称为“沟道”(channel)的一层很薄的区域将反型成为n型半导体。此时,源漏导通。即,nMOS:1(高电平导通)
  2. 在pMOS中,当栅压足够低时正电荷被吸引到Si-SiO2的界面下,形成正电荷载流子的导电通道。此时,源漏导通。即,pMOS:0(底电平导通)

MOS管符号:

常用的CMOS门电路:

  • 反相器(输入A,输出Y=A')
Fig.4 反相器逻辑门电路及逻辑符号
  • 与非门(NAND,同时为1输出取0)
Fig.5 与非门电路及其真值表
  • 或非门(NOR,同时为0输出取1)
Fig.6 或非门电路及其真值表

【了解多一点】

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