eds能谱图分析实例_使用EDS如何对材料进行定性定量分析？

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光学显微镜能帮助我们观察到各种污染物质的具体形态，却无法对物质进行定性分析；

红外光谱仪能对有机物的成分进行分析，一旦碰到金属物质也只能是“爱莫能助”。

而能谱分析法(EDX)能迅速对微区的成分进行定性定量分析，帮助找出污染失效的源头，从而提出行之有效的改善措施。因此，在微区成分分析中，能谱分析法是主要的手段之一。

入射电子与样品表面的物质相互作用的原理图

(图片整理自网络)

入射电子与样品表面的物质相互作用产生了各种各样的信号，这些信号携带了关于样品的不同信息。例如：

被散射电子产生的图像与原子序数的差异有关;

二次电子给出了形貌细节信息，阴极发光可以提供关于电子结构和材料化学成分的信息;

透射电子可以描述样品的内部结构和晶体学。

在扫描电镜中广泛使用的则是其中的一个信号——X射线。

X射线能谱分析介绍

各种元素都具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

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