资源

https://si.ldyycf.xyz/?p=33
https://web.stanford.edu/class/ee328/swb/
论坛
https://bbs.eetop.cn/
https://bbs.eetop.cn/thread-265421-1-1.html
https://bbs.21ic.com/
课程
https://inst.eecs.berkeley.edu/~ee130/fa13/project/
http://www.micro.deis.unibo.it/~rudan/MATERIALE_DIDATTICO/diapositive/TCAD/

安装

https://zhuanlan.zhihu.com/p/28517634
https://zhuanlan.zhihu.com/p/29150773
最简单的方法是找一个已经安装配置好的虚拟机。

快速纵览入门了解

知乎懒小木的live
https://www.zhihu.com/lives/923576641542848512

模块了解

MOOC上的一个课程《半导体器件原理与仿真设计》
https://www.icourse163.org/course/ECNU-1003476011?tid=1206787208

例如Sentaurus Process的了解。
可以直接跳到:
4.4.1 npn型晶体管的一维Sentaurus Process建模流程介绍
用文件夹下用terminal方式运行

sprocess 1D_npn_fps.cmd

之后可以用inspect查看plx曲线。

1D_npn_fps.cmd 如下:

#decleareline x location=4.0<um> tag=SubTop spacing= 20.0<nm>
line x location=4.5<um> spacing= 40.0<nm>
line x location=6.0<um> tag=SubBottom spacing= 0.2<um>
region Silicon xlo=SubTop xhi=SubBottom
init concentration=1e+15<cm-3> field=Boron
mgoals normal.growth.ratio=1.1 min.normal.size=20<nm> max.lateral.size=0.2<um># Buried layer (deposit screen ox, implant)
deposit Oxide type=isotropic thickness=25.0<nm>
implant Antimony dose=1.5e15<cm-2> energy=100.0<keV> tilt=0 rotation=0
SetPlxList {BTotal Antimony_Implant}
WritePlx n@node@_Sbasimp.plx
# Partial drive-indiffuse temperature=1100<C> time=1<hr>
strip Oxide
SetPlxList {BTotal SbTotal}
WritePlx n@node@_Sbdrive.plx# Create Epi layer
deposit material=Silicon type=isotropic rate=1.0<um/min> time=4.0<min> species=Arsenic concentration=1e15<cm-3>
diffuse temperature=1100<C> time=1<hr>
SetPlxList {BTotal SbTotal AsTotal}
WritePlx n@node@_Epi.plx
# Base screen oxide, implant and drive-in
deposit Oxide isotropic thickness=25.0<nm>
implant Boron dose=1e14<cm-2> energy=50<keV> tilt=7<degree> rotation=0
diffuse temperature=1000<C> time=50<min># Emitter screen oxide, implant and activation
implant Arsenic dose=2e15<cm-2> energy=55<keV> tilt=7<degree> rotation=0
diffuse temperature=1000<C> time=35<min>
# Show the final profiles
SetPlxList {BActive SbActive AsActive}
WritePlx n@node@_Final.plxexit

官方教程

用terminal方式 which swb可以看到安装路径。

教程地址:
/usr/synopsys/sentaurus/O_2018.06-SP2/tcad/O-2018.06-SP2/manuals

/usr/synopsys/sentaurus/O_2018.06-SP2/tcad/O-2018.06-SP2/Sentaurus_Training

或者下载:
https://si.ldyycf.xyz/?p=33

工艺仿真user guide
https://usermanual.wiki/Document/SentaurusSProcessUserGuide.519283346/view

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