设备软件控制平台会是什么样子？

工控领域中，对于一些逻辑较为简单，或者一些单线加工的设备，通常情况下，使用PLC，单片机即可胜任对设备的控制。而对于一些专业的半导体设备，如匀胶显影机，清洗去胶机，亦或者CVD等带有机器人的大型设备，因为存在多线并行Process，甚至上工厂大线（工厂自动化），所以通常会使用基于Windows，Linux等系统的软件操作平台。
本文主要来阐述下，设备软件控制平台可能会包含的功能。

主页面

平台的使用者根据其职能不同，对平台的操作会有不同的权限，如工艺工程师可以对配方进行编辑，但是操作工程师不能，厂商工程师可以对IO进行检索，但其他工程师不行；主页面是开放给所有客户的，这上面的功能最为简单也是最为基本。
它主要用于选择配方，规定加工条件，总览机台运行状态，包括Wafer的分布，加工的进度，盒站的状态等等。顶栏会提供客户登录入口，对蜂鸣器的消音操作，以及随时切换到Alarm报警页面进行详细报警信息查看。

环境变量，管路监测，温度监测页面

在该界面中，要对设备涉及到的环境变量进行监测。
倘若机台的管路较为复杂，操作点较多，可以在此界面显示管路图走向并对其进行控制，当然也可以另起页面显示，但一定要有类似功能。
倘若机台涉及温度控制，可在此页面进行温控表的显示与控制，当然也可以另起页面显示，但一定要有类似功能。

配方编辑界面

配方一般分为三级：

最下一级为单元配方如图，用来规定某一个PM腔体具体的执行动作，第一步干什么，第二步干什么……
中间一级为加工配方如图，用来规定某一晶圆在机台内部的流转路径，第一步去哪个PM，第二步去哪个PM……
最上一级为Lot配方，用来规定满盒晶圆中，每一片晶圆的加工配方。

Dummy界面

对于一些机台，需要让喷嘴每隔设定时间进行一次喷洒操作，以防止管路药品凝结堵塞，影响工艺效果。如胶路，胶嘴清洗等。

PM单独加工界面

该界面主要用于调试阶段，让PM单元进行一次完整的加工，用以检测各机械部件和功能是否正常。左侧部分要能够实时显示硬件状态，右侧部分要能够实时显示加工进度，必要的时候要具备一些关键加工信息的显示。

手动维护界面

该界面主要用于调试阶段，或者机台故障时进行维护。左侧会实时显示硬件信息，右侧会对该PM涉及到的控制部件进行控制。

机器人界面

顾名思义，机器人界面主要用于对机器人的操作，如对指定单元进行取放片，回零，重置等功能，并对机器人的运行状态进行监测。

初始化界面

可在该界面中对指定单元进行初始化，或者全部初始化。此外该界面还会显示晶圆的分布，并对信息进行写入或抹除。

配置界面

该界面中需要包含机台所使用到的配置项，配置项包括但不限于功能开关，超时时间，电机位置，电机速度等。

工艺参数曲线绘制界面

该界面中，可以对指定的变量（多为模拟量）进行实时监测，并以曲线的方式绘制出来，该数据可保存至文本存放于指定路径下。

用户管理界面

该界面作用是对机台的账号进行新增，编辑与删除。

日志界面

日志界面可能不仅仅是一个页面，根据机台类型不同，会对应多个日志。基础的有报警日志界面，加工批次页面等。并且在页面中勾选某Lot批次后，应该有更为详细的信息呈现出来。如：机器人的行为记录，各个单元针对于某片晶圆的加工时间与结束时间，晶圆在机台内部流转的路径与具体时间点等等。

调度设置页面

调度页面中，有一些用户经常使用到的调度选项。如：用户来规定片盒加工模式是并行还是顺序；在一些比较复杂的配方中，用户来规定进入机台内的最大片数来保证运行顺畅；用户对PM进行启用/禁用操作；用户对每个PM进行取放片的优先级设定等等。

备份还原页面

日常使用中，存在一些情况需要用户对机台内的数据（如配置参数，配方信息等）进行备份，同样当机台出现误操作导致信息丢失覆盖时，需要对信息进行还原，该页面的作用就是这个。

以上内容为根据自身经验总结出，不同的平台当然会有不同的考量和布局，并且同一个平台针对不同的机台和客户也会存在差异性，不能一概而论。

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