X射线电子能谱原理及软件图谱处理

X射线电子能谱的原理

使用具有特征波长的软X射线(常用射线源Mg Kα-1253.6 eV 或Al Kα-1486.6 eV) 照射样品表面，和表层原子发生作用，当光子能量大于核外电子的结合能时，可将其中内层电子激发出来，这种电子就叫做光电子。

这些光电子的能量具有高度特征性，通过检测器检测光电子的动能和光电子的数量，就可以得出样品表面元素的化学状态及含量。

当原子周围的化学环境发生变化时，内层电子的结合能也跟着发生变化，这种内层电子结合能随化学环境变化的现象叫做化学位移。X射线光电子能谱能测试化学位移，因此也就可以得出表面元素所处的化学状态。化学位移在谱图上表现为谱峰位置的变化，以谱峰的强度为基础，可以把谱峰面积通过灵敏度因子法与元素含量联系起来，从而对样品做出定量分析。

X射线电子能谱的应用

软件数据处理(一)

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