薄胶(S18xx,SPR955,BCI-3511,NRD6015)光刻胶
薄胶(S18xx,SPR955,BCI-3511,NRD6015)光刻胶
薄胶 | 型号 | 光源 | 类型 | 分辨率 | 厚度(um) | 适用范围 |
S18xx系列 | g-Line | 正性 | 0.5um | 0.4-3.5 | 较常用的薄光刻胶,分辨率高,稳定可靠。 | |
SPR955系列 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.7-1.6 | 进口高分辨率(0.35um)光刻胶,稳定可靠。 | |
BCI-3511 | i-Line | 正性 | 0.35um | 0.5-2 | 国产0.35um光刻胶,已经在量产单位规模使用。 | |
NRD6015 | 248nm | 负性 | 0.2um | 0.7-1.3 | 国产深紫外光刻胶,已经在量产单位规模使用。 |
光刻胶分类
在平板显示行业;主要使用的光刻胶有彩色及黑色光刻胶、LCD触摸屏用光刻胶、TFT-LCD正性光刻胶等。在光刻和蚀刻生产环节中,光刻胶涂覆于晶体薄膜表面,经曝光、显影和蚀刻等工序将光罩(掩膜版)上的图形转移到薄膜上,形成与掩膜版对应的几何图形。
光刻胶胶涂工艺
在PCB行业;主要使用的光刻胶有干膜光刻胶、湿膜光刻胶、感光阻焊油墨等。干膜是用特殊的薄膜贴在处理后的敷铜板上,进行曝光显影;湿膜和光成像阻焊油墨则是涂布在敷铜板上,待其干燥后进行曝光显影。干膜与湿膜各有优势,总体来说湿膜光刻胶分辨率高于干膜,价格更低廉,正在对干膜光刻胶的部分市场进行替代。
液晶屏显彩色滤光膜制造有赖于彩色光刻胶
在半导体集成电路制造行业;主要使用g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶等。在大规模集成电路的制造过程中,一般要对硅片进行超过十次光刻。在每次的光刻和刻蚀工艺中,光刻胶都要通过预烘、涂胶、前烘、对准、曝光、后烘、显影和蚀刻等环节,将光罩(掩膜版)上的图形转移到硅片上。
感光阻焊油墨用于 PCB
光刻胶是集成电路制造的重要材料:光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%,并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%-50%。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%,市场巨大。因此光刻胶是半导体集成电路制造的核心材料。
1-丙烯酸金刚烷酯 | 121601-93-2 |
1-金刚烷基甲基丙烯酸酯 | 16887-36-8 |
丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 | 7398-56-3 |
4-乙酰氧基苯乙烯 | 2628-16-2 |
1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯 | 216581-76-9 |
2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 | 249562-06-9 |
2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯 | 303186-14-3 |
1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯 | 81665-82-9 |
2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 | 254900-07-7 |
甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[ | 34759-34-7 |
2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯 | 297156-50-4 |
2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯 | 251564-67-7 |
gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯 | 130224-95-2 |
N-异丙基甲基丙烯酰胺 | 13749-61-6 |
(9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯 | 583036-99-1 |
(5-氧代四氢呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 | 156938-09-9 |
1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯 | 266308-58-1 |
1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯 | 811440-77-4 |
2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯 | 31480-93-0 |
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate | 170216-64-5 |
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 | 4224-69-5 |
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 | 31645-35-9 |
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ | 347886-81-1 |
2-乙烯基萘 | 827-54-3 |
2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 | 186585-56-8 |
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯 | 195000-66-9 |
丙烯酸甲基环戊酯 | 178889-49-1 |
丙烯酸1-乙基环戊酯 | 326925-69-3 |
2-氧代四氢呋喃-3-基丙烯酸酯 | 328249-37-2 |
4-叔丁氧基苯乙烯 | 95418-58-9 |
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 | 69260-42-0 |
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 | 13695-31-3 |
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene | 16215-47-7 |
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol | 57142-64-0 |
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 | 157057-20-0 |
1-甲基环己基甲基丙烯酸酯 | 76392-14-8 |
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 | 1176273-16-7 |
2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯) | 131787-39-8 |
1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯 | 178889-45-7 |
1-乙基环己基甲基丙烯酸酯 | 274248-09-8 |
4-异丙基苯酚 | 4286-23-1 |
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate | 13818-44-5 |
乙酸-2-乙烯基苯基酯 | 63600-35-1 |
2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 | 325991-26-2 |
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate | 51920-52-6 |
甲基丙烯酸四氢呋喃-2-基酯 | 15895-80-4 |
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate | 52858-59-0 |
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one | 1267624-16-7 |
3-叔丁氧基苯乙烯 | 105612-79-1 |
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 | 13732-00-8 |
2,3-二羟基丙烯酸丙酯 | 10095-20-2 |
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷 | 2653-39-6 |
3,5-二乙酰氧基苯乙烯 | 155222-48-3 |
2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷 | 123455-94-7 |
二苯基碘酰氯 | 1483-72-3 |
双[4-(1,1-二甲基乙基)苯基]碘鎓与三氟甲磺酸的盐 | 84563-54-2 |
全氟丁基磺酸三苯基锍盐 | 144317-44-2 |
双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 | 5421-53-4 |
TBPDPS-PFBS | 258872-05-8 |
1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐 | 194999-85-4 |
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 | 111281-12-0 |
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 | 85342-62-7 |
wyf 01.22
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