使用LabVIEW开发半导体芯片自动测试系统

使用LabVIEW开发半导体芯片自动测试系统
半导体芯片自动测试系统，可以测试固定在底层封装版上的多组被测装置(DUT)。系统为每个DUT执行电力与光学特性的描述。在测试开发中，软件可以判定每个芯片在测试流程中的正确位置。取得正确的位置点对于所有的流程步骤来说极为重要。

这套测试机包含了3个量测站，系统最多可以安装6种不同的测试。每种量测都很重要，因为结果会判定DUT的运作是否正常。如果DUT有一种测试没通过，系统就会跳过其他的测试，这可以节省流程时间与金钱，也提高了测试设备的测试量与效率。整套系统建立在大型的花岗岩结构体上，使用气压弹簧以避免振动引起的干扰。系统时使用了视觉系统，可以将探针头快速精确地对准DUT。探针头与接线盒具有高弹性，更换容易，可以轻松换成其他类型的DUT。
使用不同的NI多功能卡与专用的Fieldbus (ProfiBUS)，来监控大约一百种不同类型的信号。仅在装载与卸载DUT时需要与使用者互动， DUT放置在支架上，以节省机器时间。
将DUT对齐量测站是流程中最重要的部分之一，因为在某些测试站上，0.5 nm的误差就能决定DUT是否通过测试流程。所以我们使用光学相机系统，加上NI IMAQ PXI-1409采集，配上动作控制系统，以判定DUT的对齐程度。
LabVIEW程序，来定义步骤、在设定及安装不同类型的硬件设备时提高灵活性。采用硬件抽象类使得相同类型的量测设备，不需要改变测试的流程就能轻松更换不同的设备。有了这种灵活性高且实用的功能，就能避免停工的状况，即使是硬件发生故障也不受影响。用户也可以轻松扩充系统。也可以将以LabVIEW开发的程序界面整合起来，能整合新功能与使用者人机界面。这样使用者就能按照需求详列功能，并调整流程。

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文字内容均在附件Word中，同时上文中提到的例子和资料，均在word中的附件里，可点击下载。http://www.bjcyck.com/nd.jsp?id=396#_np=2_358

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