Janis—微操作探针台系统

用于芯片、晶圆和器件测试的微操作低温和真空探针系统，温度范围从 ~3.5 K 到 675 K

Janis 微操作探针台设计用于使用直流、射频和光纤探针进行无损电气测试。它们可用于各种领域，包括半导体、MEMS、超导、电子、铁电、材料科学、物理学和光学。LHe/LN 2 或机械闭环制冷机提供冷却。不同的模型将样品定位在超高真空 (UHV)、超高温（至 675 K）和磁场中。

灵活的探针

Janis Research 的低温探针台新技术特殊的柔性探针尖端允许在可变 DUT 温度测量期间吸收探针臂的热漂移运动。

微型、可移动的样品真空室

Janis Research 还提供了一个微型、可运输的样品真空室，能够在通过大气环境运输期间将样品保持在真空中。真空室可用于在真空下将晶圆/基板从具有特殊环境的手套箱转移到真空或低温微操作探针台（或进入真空室），并在测试、测量或准备工作。这种可移动的真空室可在装载和卸载时保护晶片/基板免受大气污染。

与普通的真空负载锁不同，真空室具有以下特点和优点：

典型尺寸为 50 毫米直径和 25 毫米厚度

无需闸阀

非常方便和容易的操作

低成本

在不增加低温探针台的基础温度的情况下安装可移动的样品架

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