基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真.pdf

No,5

第19卷第5期 传感技术学报 V01.19

CHINESE OF AND

2006年10月 JOURNALSENSORSACTUATORS Oct.2006

AMaflab-B艘dSinmlafionofIMman'eControlforl垤croGmPressureSemor System

Testing

CHEN

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I Technology

realizethe controlof staticand ofmi—

Abstract:To real-time vacuumenvironmentinthe dynamic test

performance

cro sensorwith the environmentwerecarriedout.

gaspressure to vB.euum

micro-hotplate,simulationstesting

Controland PDControl谢th were tOset themodel

Fuzzy Fuzzy Control

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of algorithmscompared.’I、he

showthatthe errorsof Controllerof Control fluctuateis

steady-stateFuzzyPlD-Type System Quantity

Adjusting

1ass,soitis betterthan contr01.Thesesimulatedresults thebasisforreal-time

obviously fuzzy provide gaspres—

surecontr01ofthe1kPa~100kPavacuum environmentwhichthesen

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