推荐几本纳米级光刻机书籍
开始学习纳米级光刻机的小伙伴,可以由易到难看一下下面几本书,最后一本是ASML的光刻机之路,也可以大致了解一下。
纳米集成电路制造工艺(第2版)》是2017年清华大学出版社出版的书籍,作者是张汝京等。这是国内首本关于纳米集成电路制造工艺的著作。半导体产业领军人物张汝京组织,顶级半导体代工厂一线科研人员编写,清华大学王志华教授作序推荐。
2.书名:集成电路与光刻机
定价:58.0
ISBN:9787030657923
作者:王向朝,戴凤钊 等
版次:1
出版时间:2020-08
3. 《超大规模集成电路先进光刻理论与应用》是2016年5月科学出版社出版的图书,作者韦亚一。
- 《光刻巨人:ASML崛起之路》是一本人民邮电出版社出版的图书,作者是[荷兰]瑞尼·雷吉梅克。《光刻巨人:ASML崛起之路》中,作者瑞尼·雷吉梅克带我们重返了晶圆步进光刻机的诞生地,和我们一起探索了ASML在全球获得令人瞩目的成功之根源所在。
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