xps常见问题与解答

在做X 射线光电子能谱(XPS)测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；

Q：所测窄谱元素，含量比为啥跟预期不符？

1.样品表面被污染

2.样品分布不均匀

3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内

4.XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入

PS：XPS是一种典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，测试得到的仅是样品表面几百甚至几十um大小，几个nm深度的样品信息，不代表样品整体性质

Q：样品中，某元素窄谱曲线不光滑，峰刺较多，或没有测出该元素？

1.元素含量比较低

2.样品分布不均匀，所测试的光斑范围内，该元素含量较少

3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内

Q：分峰后，某元素结合能位置不对？

1.确认下数据是否校正（我们给的数据，一般是没有校正的数据）

2.分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响，某些化学环境会导致峰有正常的偏移

3.确认下分峰是否正确

Q：元素的结合能测试范围和之前的不同，无法对比？

如果该元素的峰是完整的，可以自行截取至相同结合能范围进行对比，如果不影响分析也可以不进行截取

Q：分峰后，对应价态的峰没有？

1，需要分峰后进行分析，并需确认分峰是否正确

2，全谱的能量很高，如果测不出来，可能是污染碳很高，或者测试深度范围内的含量太少（整体该价态比较高，但是表面很少），一般是后者原因居多

Q：所测2个元素的窄谱峰有重合，无法分峰？

可尝试测其中某一元素其它轨道峰，来避免与另一元素窄谱峰重合

Q：数据中C、N、O元素含量比实际样品的高，或没有C、N、O但是测出来了？

1.样品吸附了空气中的污染物导致，在数据处理时，把非样品所含有的污染物的峰先分出来，剔除掉，再重新计算含量；

2.如果对这个要求较严，建议后期样品制备后抽真空密封保存，测试时选择手套箱制样并测试；如果是非粉体样品，可选择刻蚀后测试

Q：样品不含有这个元素，为什么全谱测出这个元素了（除CNO）？

1.样品理论上应该不含有，但是样品在处理过程中是有引入该元素的成分，在后续的处理过程没有完全处理干净

2.待测试样品是在某种基底上测试的，但待测试样品量较少，测试到了基底

3.被同一批次的其他样品，或者有易挥发组分（如S、F），或者进行刻蚀后，污染了该样品表面

Q：某元素含量很高大概 5%，测出来信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，测出来信噪比反而很好？

1.不同元素的主峰的灵敏度因子和检测限不一样；

2.样品分布不均匀

3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内

以上如对实验结果有疑问，请尽快联系科学指南针工作人员或拨打 400-831-0631 ，我们会尽快给您确认并解决，由于我们工作的失误给您带来的不便，我们深感抱歉！

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