(1)Library Manager界面点击 File 菜单,出现下拉菜单,选命令 New→Cell View,出现 “Creat New File 对话框。 ”
(2)在对话框Cell Name项中输入新库名st。在对话框Tool选项后选择Virtuoso。点击ok
(3)版图设计LSW各个工艺层的对应标号如下所示:

AA:有源区
NW:N阱
PW:P阱
GT: 栅极多晶硅
SP:P+注入
SN: N+注入
M1: 金属层1
M2: 金属层

(4)按照所设计电路图,进行版图设计。查找版图工艺库要求,采用如下版图设计尺寸规则(部分主要规则)所示:
N阱层相关的设计规则:
编号 描述 尺寸(μm) 目的与作用
1.1 N阱最小宽度 1.60 保证光刻精度和器件尺寸
1.2 N阱最小间距 1.00 防止不同电位的阱之间相互干扰
1.3 N阱内N阱覆盖P+ 0.20 保证N阱四周的场注入N区环的尺寸

P+、N+有源区层相关的设计规则:
编号 描述 尺寸(μm) 目的与作用
2.1 P+、N+有源区宽度 0.30 保证器件尺寸、减少沟道效应
2.2 P+、N+有源区间距 0.30 减少寄生效应

Poly层相关的设计规则:
编号 描述 尺寸(μm) 目的与作用
3.1 多晶硅最小宽度 0.30 保证多晶硅线条的必要电导
3.2 3.2 0.18 防止多晶硅连线
3.3 多晶硅伸出有源区 0.17 保证源、漏区以栅长为界而隔离

Metal层相关的设计规则:
编号 描述 尺寸(μm) 目的与作用
4.1 金属宽度 0.16 保证金属线的良好电导
4.2 金属间距 0.17 防止金属条连条

Contact层相关的设计规则:
编号 描述 尺寸(μm) 目的与作用
5.1 接触孔大小 0.16×0.16 保证与金属布线的良好接触
5.2 不同层金属接触孔大小 0.19×0.19 保证接触,防止断条

版图具体结构设计

由于课程设计所采用的施密特触发器具有较好的对称性,所以PMOS、NMOS对称分布。对于PMOS,三个PMOS分布在同一个N阱中,共用一个体,可以节省空间。其中两个PMOS串联。PMOS的栅、源、漏以及体极连接方式以及分布如图3.3.1所示。NMOS采用与PMOS对称的结构,如图3.3.2所示。


对于PMOS,三个PMOS分布在同一个N阱中,共用一个体,可以节省空间。其中两个PMOS串联。PMOS的栅、源、漏以及体极连接方式以及分布如图3.3.1所示。


CMOS电路中把PMOS管的源及其衬底接VDD, NMOS管的源和衬底接VSS;由于衬底是低掺杂的,为了形成衬底和金属的欧姆接触,在衬底的连接区域要进行重掺杂。

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