Silvaco TCAD如何定义Tcad中没有的材料?
在Atlas中定义新材料需要三个基本要素:
material=Ga2O3 user.default=GaN user.group=semiconductor
material=Ga2O3:定义新材料的名字,这里我要定义的材料是氧化镓。
user.group=semiconductor :我要定义的材料属于半导体这一组,一般包含三组,分别是导体,半导体,绝缘体。代码如下:
user.group=semiconductor
user.group=insulator
user.group=conductor
user.default=GaN:这是给出一种Atlas中已经存在的材料作为默认材料,这种默认材料作为定义的新材料的基础。氧化镓和氮化镓都是镓的宽禁带半导体材料。
定义了以上三个基本参数之后,就可以在这个基础上定义一些其他的参数,来具体的定义出一种新材料了。
如下:
material material=Ga2O3 user.default=GaN user.group=semiconductor \affinity=4.0 eg300=4.8 nc300=3.72e18 nv300=3.72e18 permittivity=10.0 \mun=118 mup=50 tcon.const tc.const=0.13
affinity:亲合能
eg300:300k下的带隙
nc300:300k下的导带态密度
nv300:300k下的价带态密度
permittivity:介电常数
mun/mup:低温下,电子/空穴的迁移率
tc.const:热导率
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