晶圆搬运机械手易操作，用于搬运半导体晶圆的机器人
晶圆搬运机械手又称JEL晶圆搬运机械臂/手,wafer robot/晶圆真空机械手,JEL 3轴/4轴/5轴晶圆机械臂。还分为3轴圆柱坐标洁净机械手臂/真空3轴圆柱坐标型机械手臂/防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂/5轴真空水平多关节型洁净机械手臂。
3轴圆柱坐标洁净机械手臂
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对闭坏控制方式机械手臂加上疑似多轴规格 |
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没有水平移动轴也能够搬运到并立配置的开闭安全门台，由于布局设计运用自如，降低成本 |
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适用于超级洁净间要求的3轴圆柱坐标洁净机械手臂 |
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在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题， 适用于2寸-300mm晶圆传输的新型单臂机械手臂 |
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采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式， 有效地提高了机械手臂的可靠性 |
防水式4轴圆柱坐标洁净机械手臂
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能够在酸性，碱性雾气环境下搬运半导体晶圆 |
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机械手臂标准臂长：160 mm、200 mm |
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手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性 |
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手臂关节部位防水结构使用V型密封圈 |
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零件之间的结合面采用Viton材质的密封条 |
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Z轴的防水结构可以使用蛇腹管 |
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双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 |
5轴真空水平多关节型洁净机械手臂
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能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局 |
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通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积 |
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非常适合inline设备 |
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机械手臂标准臂长：280mm, 330mm |
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手臂关节处使用磁流体密封装置 |
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真空密封：磁流体密封装置以及波纹管 |
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提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器 |
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双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间 |
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