开发新设备设计时使用低温探针台的 8425 型直流霍尔系统

8425 型将我们 8400 系列 HMS 系统的广泛霍尔测量功能与我们的 CRX-VF 无冷冻剂探针台的灵活性和便利性相结合。

能够探测直径最大为 51 毫米（2 英寸）的完整或部分晶圆，无需像传统霍尔测量系统通常需要的那样对制造的晶圆进行切

。并且由于样品处于真空状态（标准霍尔系统不具备该功能），因此对于容易因暴露于大气而导致降解或可能需要初始烘烤以去除水分的材料而言，它是理想的测量平台。

探测还提供了测量更多霍尔结构和使用更小的器件的灵活性。可重新定位的探针消除了对大型固定线触点的需要，并且它们能够在晶片上对多个结构进行采样。测试结构的尺寸可以小到一毫米。

可变温度和磁场测量

该系统能够以自动化方式在整个温度范围内以 2 T 的最大场强进行 10 K 至 400 K 的测量。（需要在多个温度点手动调整探针台的热开关。）

生成作为温度函数的直接和派生霍尔电压、霍尔系数、霍尔迁移率、电阻和 IV 曲线测量值。改变温度使载流子能够通过它们的激发能量被识别，并为材料中的主要机制提供线索——可以产生重要发现的见解。

高灵敏度设备探测

该平台最多支持六个超稳定探针臂，用于精确放置尖端（标准提供四个臂）。它提供真正的 90° 晶圆探测，并包括我们获得专利的 CVT（连续可变温度）探头，可确保在宽温度范围内进行测量时保持一致的接触特性。

该站还包括一个垂直场超导磁体、一个用于无冷冻剂操作的闭环制冷机 (CCR) 和一个紧凑型真空涡轮泵。

无损检测——无需焊接

探针台平台的使用消除了将电线连接到样品的需要（如传统霍尔测量系统所要求的），加快了样品制备并避免了对样品的任何损坏。

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