薄元近似(TEA)与傅立叶模态方法(FMM)在光栅建模中的对比
摘要
薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
建模任务
正弦光栅—效率与高度(TEA)
正弦光栅—透射相位曲线
正弦光栅—透射相位曲线
正弦光栅—衍射效率
正弦光栅—效率与周期
正弦光栅—特定周期下的相位曲线
闪耀光栅—效率与高度(TEA)
闪耀光栅—透射相位曲线
闪耀光栅—衍射效率
闪耀光栅—效率与周期
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
VirtualLab Fusion一瞥
VirtualLab Fusion工作流程
• 设置光栅结构
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
• 分析光栅衍射效率
−光栅阶次分析器[用户案例]
• 通过参数运行检查不同参数的影响
− 利用参数运行文档[用户案例]
VirtualLab Fusion技术
文件信息
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