XPS全称为(X-ray photoelectron spectroscopy),即X射线光电子能谱。主要用于分析材料表面化学元素的组成,化学价态及分布。

XPS图谱代表了原子能级的分布情况,不同元素原子的分布不同,XPS能谱的特征峰也就不同,从而可以区别不同元素。

原子中单个电子的运动状态可以用4个量子数nnn,lll,mlm_{\rm l}ml​,msm_{\rm s}ms​来描述。

  • nnn为主量子数,电子的能量主要就取决于nnn,nnn值越大,电子能量越高。nnn的取值范围为n=1,2,3,4...n=1,2,3,4...n=1,2,3,4...,分别对应K,L,M,N,…电子壳层。
  • lll为角量子数,决定了电子云的几何形状,不同的l值对应电子壳层的几个亚层,即能级。l的取值范围为l=0,1,2,3,...,(n−1)l=0,1,2,3,...,(n-1)l=0,1,2,3,...,(n−1)。通常用s,p,d,f...s,p,d,f...s,p,d,f...来表示。具体来说,当n=1n=1n=1时,lll只能取0;n=2n=2n=2时,lll可以取0,1。以此类推。在给定壳层的能级上,电子的能量随着l值的增加略有增加
  • mlm_{\rm l}ml​为磁量子数,决定了电子云在空间的取向。取值范围为ml=0,±1,±2,...±lm_{\rm l}=0,±1,±2,...±lml​=0,±1,±2,...±l。即若l=0,mlm_{\rm l}ml​只能为0;若l=1,则ml=−1,0,+1m_{\rm l}=-1,0,+1ml​=−1,0,+1;以此类推。
  • msm_{\rm s}ms​为自旋量子数,表示电子自旋的取向,可以取+1/2和-1/2两个值。

内量子数jjj是起源于自旋轨道耦合作用(SOC)引起的能级分裂,其主要对于l>0l>0l>0的内壳层起作用,取值为:j=l+ms,l−ms,ms=1/2j=l+m_{s},l-m_{s},m_{s}=1/2j=l+ms​,l−ms​,ms​=1/2。当l=0时,j=1/2;当l=1,j=3/2,1/2。以此类推。也就是说,除了s亚壳层(l=0)外,l>0的各亚壳层都会分裂成2个能级,体现在XPS图谱上就是双峰

由于电子能谱实验通常是在无外磁场作用下进行的,所以磁量子数mlm_{\rm l}ml​是简并的。在电子能谱中,用n、l 和j 三个量子数来表征内层电子的运动状态。举例来说,XPS图谱中3d5/23\rm d_{5/2}3d5/2​中3,d,5/2分别为n,l,j。即单个原子能级用两个数字和一个小写字母表示。

上图为C1s,Ti2p,W4f和Ag3d的XPS能谱图,值得注意的是C1s中n=1,l=0,因而只出现了单峰,其余l>0的元素出现了XPS双峰。

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