扫描电镜SEM制样方法大汇总
在做扫描电子显微镜(SEM)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学对SEM测试制样方法不太了解,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
1.样品要求
固体,无毒,无放射性,无污染,无磁,无水,成分稳定
2.常用方法
一般分块状样品、粉末样品和截面样品制备三类
1、块状样品
低倍率观察(<5万倍)-- 导电胶带
高倍率观察(>5万倍)-- 液体导电胶
2、粉末样品
可以直接固定在导电胶带或者液体导电胶上,见图
注意:如果是导电胶带,揭下来的剥离纸一定要倒着放,撒完样品后在用剥离纸干净的面压一下,固定的才回牢
如果是液体导电胶,最好是用水溶性的,不容易和样品发生反应,撒样品的时间点控制在导电胶快干的时候撒,才能使样品达到半浸没状态。
也可以用分散法:
3、截面样品
如果是硅片或者是玻璃,需要用到玻璃刀,见图
注意:用玻璃刀划的时候要让开观察的面,也就是说可以上面和下面各划一下,然后再掰就可以了
根据不同样品材质,有的时候是正面掰好,有的时候是从背面掰好。
本文内容整理自仪器信息网论坛、科袖网、材料人、新兴百瑞及中镜科仪网站
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