SEM测试成像原理与消像散

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成像原理

从电子枪阴极发出的电子束，经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束（0.00025微米-25微米），在扫描线圈的作用下，电子束在样品表面作扫描，激发出二次电子和背散射电子等信号，被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显象管上形成衬度图象。二次电子像和背反射电子反映样品表面微观形貌特征。而利用特征X射线则可以分析样品微区化学成分。

消像散

当观察高倍图像时，反复调焦都不清楚，图像在相互垂直方向上有模糊边，见下组照片的左图和中图，这就是像散，必须予以消除。

消像散操作有三种选择：

1．点击下拉菜单的消像散图标，拖动鼠标左键分别上下或左右移动，使模糊边尽量减小，再调焦，清晰度有所改善，该过程反复进行，直到图像清晰，见右图。

2．在光阑板面点击消像散（Stigmation），分别拖动XY坐标线的两个方向滑尺，减小模糊量。

3．利用手动操作板上的两个消像散旋钮，分别缓慢转动，消除模糊边。

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