摘要 2021

多样化的电子市场非常需要可配置的金属氧化物金属 (MOM) 电容器结构。基于对 MOM 电容器中不同电容来源的分析研究，以及对光刻工艺如何影响电容器最终形状的理解，我们提出了一种高度可配置和可扩展的螺旋基电容器。已经生成了几种形式的螺旋电容器并进行了光刻模拟以获得准确的电容值。与单层叉指型 MOM 电容器相比，所提出的基于螺旋的电容器已被配置为实现比 MOM 电容器高 1.23 倍的电容密度或所有结构中最小的变化。

调研

电容器在电子应用中发挥着重要作用 [1]-[22]。随着CMOS工艺技术的不断进步，电子市场进一步多元化和专业化。标准代工厂的电容器不再是“一刀切”，需要可配置和可扩展的电容器结构来满足新的市场需求。
通常，铸造厂提供两种类型的电容器，金属-绝缘体-金属 (MIM) 和金属-氧化物-金属 (MOM) 电容器。MIM电容器提供高品质因数 (Q因数) 和低串联电阻 (ESR) 特性，但它需要额外的绝缘介电层，这增加了制造成本和制造周期 [23]。如图1和图2所示，MOM电容器由铜金属互连层构成，其电容估计为面积 (由于重叠面积) 、边缘 (不同平面中的导体之间的耦合) 、和横向 (同一平面内不重叠导体之间的耦合) 寄生电容。随着高级工艺中金属层之间几何距离的缩小，这导致电容密度 [1]，[2]，[23] 的增加。因此，MOM电容器已成为MIM电容器的更好替代品。
为了实现 MOM 电容器的更低 ESR 和更高 Q 因子，分形电容器已被开发并用于微波电路 [3]、[4]、天线 [5]、[6]、换能器 [7]、变压器 [8] , [9], 电容器 [10], [11], [22], 耦合器[12] 、传输线 [13] 、滤波器 [14] 、MEMS [15] 、模数转换器 [16] 等。它使用众所周知的空间填充曲线技术，通过增加电容器外围的长度 (拐角数) 来增加电容密度 [22]。然而，随着拐角数量的增加，诸如拐角舍入 (短) 、桥接 (短) 、挤压/缩颈 (打开) 和线端拉回 (打开) 之类的光刻失真将降低分形电容器的产量 (图3)。不再保证在物理布局多边形上执行寄生提取 (PEX) 以估计电容值。

在本文中，提出了一种高度可配置和可扩展的基于螺旋的电容器。所提出的结构是基于对 MOM 电容器中不同电容来源的分析研究得出的，并了解光刻工艺如何影响电容器的最终形状。为了验证所提出结构的性能，已经生成了几种形式的螺旋电容器并进行了光刻模拟以获得准确的电容值。与单层叉指型MOM电容器相比，所提出的基于螺旋的电容器实现了1.23倍的电容密度，并且在所有结构中实现了最小的变化。

只是提出了一种结构。

数据集

实验指标

具体方法

适用于高密度或高精度应用的高度可配置和可扩展的螺旋电容器设计相关推荐

1U 144芯高密度光纤配线箱-MP6
MP6是一种模块化,基于标准的预端接,提高端口密度,改善连接器访问,节省数据中心空间的一套系统,MP6-1U机箱系统最多可容纳12个12芯模块盒或16个8芯模块盒,可以快速有效地安装和维护多个光纤连接 ...
高密度ARM集群服务器的应用场景
1 什么是高密度ARM集群服务器 ARM集群服务器,是在一个机箱内设计N个高性能ARM处理器,每个ARM处理器配置独立的内存及存储,所有的处理器通过高速网络(千兆或万兆网络)进行相互之间以及对外通信的 ...
arm集群服务器_高密度ARM集群服务器的应用场景
1 什么是高密度ARM集群服务器 ARM集群服务器,是在一个机箱内设计N个高性能ARM处理器,每个ARM处理器配置独立的内存及存储,所有的处理器通过高速网络(千兆或万兆网络)进行相互之间以及对外通信的 ...
高密度 ARM 服务器如何引领“数智时代”发展，打通“智变质变”正循环
并行计算 | 多样性计算 | ARM架构深度学习 | 高性能计算 | ARM服务器如今随着算力.高性能计算的快速发展,数字经济已经成为全球经济增长的主引擎.数字经济的快速发展,使得深度学习.数据分 ...
高密度(HD)电路的设计 (主指BGA封装的布线设计)
高密度(HD)电路的设计 (主指BGA封装的布线设计) 本文介绍,许多人把芯片规模的BGA封装看作是由便携式电子产品所需的空间限制的一个可行的解决方案,它同时满足这些产品更高功能与性能的要求.为便携式 ...
高计算密度+低功耗！浪潮新一代高密度服务器SA5248M4横空出世
SA5248M4是一款高密度模块化服务器.在标准机架2U高度里可以部署4个计算节点模块,具备高性能.低功耗.易维护.群管理等特性.主要针对云计算等应用模式的分布式业务系统而设计.可担当Web接入服务器 ...
如何选择高密度应用光纤配线箱？
光纤配线箱将光纤线缆的端接变得易于管理,主要用于光缆的引入,光纤的交叉连接.光纤跳线的储存.配线输出等,可实现光纤熔接.光纤端接.光纤适配器.连接器和电缆连接头的整合. 光纤配线箱有各种规格,常见的有 ...
CMU贺斌教授团队提出FAST-IRES技术，利用高密度EEG产生脑信号源的动态图像
图片来源于[2] 卡耐基梅隆大学生物医学工程系系主任贺斌教授的研究团队提出将高密度脑电图(EEG)作为动态功能神经成像的未来范例,这研究成果标志着实现 NIH BRAIN计划目标的道路上的一个重要里程 ...
模块化配电系统在高密度数据中心的应用
传统的数据中心配电架构在传统的配电系统当中,数据中心的主进线先至配电柜(配电柜一般额定功率为50~500kW),配电柜一般配有大型电力变压器用以转换电压或改善电力质量.然后,配电柜将主进线分配成一定 ...
人头识别与计数_目标检测之人头检测（HaarLike Adaboost）---高密度环境下行人检测和统计...
1 问题描述高密度环境下的行人统计一直没有得到很好的解决,主要原因是对高密度人群中的行人检测和跟踪是一个很难的问题,如下图所示环境,存在的困难包括: 检测方面: 由于人群整体处于运动状态,占据了背景 ...

适用于高密度或高精度应用的高度可配置和可扩展的螺旋电容器设计

摘要 2021

调研

数据集

实验指标

具体方法

适用于高密度或高精度应用的高度可配置和可扩展的螺旋电容器设计相关推荐

最新文章

热门文章