集成电路工艺7nm 5nm 2nm

IBM集成电路贡献：

2015年人类第一颗7nm制程芯片；

2017年人类第一颗5nm制程芯片；

2021年人类第一颗2nm制程芯片。

关键技术：

7nm以上，FinFET结构解决漏电流问题，但是7nm是FinFET结构极限；

7nm以下，GAA架构有效解决漏电流问题，5nm和2nm都是GAA架构的实现例子。

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